Project detail
Advanced metrology for optical lithography and microscopy
Duration: 01.01.2019 — 31.12.2022
Mark
TN01000008/05
Default language
English
People responsible
Dostál Zbyněk, Ing., Ph.D. - fellow researcher
Units
Center of Electron and Photon optics
- (2019-01-01 - 2020-12-31)
Central European Institute of Technology BUT
- (2019-03-06 - 2020-08-27)
Funding resources
Technologická agentura ČR - Národní centra kompetence 1
- whole funder (2018-05-31 - 2020-12-31)
Results
DOSTÁL, Z.: DMD senzor; Testovací lavice pro měření vlnoplochy po průchodu optického elementu. Fakulta strojnÍho inženýrství, Ustav fyzikálního inženýrství, Technická 2896/2, budova A2. (funkční vzorek)
Detail