Project detail

Advanced metrology for optical lithography and microscopy

Duration: 01.01.2019 — 31.12.2022

Mark

TN01000008/05

Default language

English

People responsible

Dostál Zbyněk, Ing., Ph.D. - fellow researcher

Units

Center of Electron and Photon optics
- (2019-01-01 - 2020-12-31)
Central European Institute of Technology BUT
- (2019-03-06 - 2020-08-27)

Funding resources

Technologická agentura ČR - Národní centra kompetence 1

- whole funder (2018-05-31 - 2020-12-31)

Results

DOSTÁL, Z.: DMD senzor; Testovací lavice pro měření vlnoplochy po průchodu optického elementu. Fakulta strojnÍho inženýrství, Ustav fyzikálního inženýrství, Technická 2896/2, budova A2. (funkční vzorek)
Detail