Project detail

Advanced metrology for optical lithography and microscopy

Duration: 1.1.2019 — 31.12.2022

Funding resources

Technologická agentura ČR - Národní centra kompetence 1

Mark

TN01000008/05

Default language

English

People responsible

Dostál Zbyněk, Ing., Ph.D. - fellow researcher

Units

Center of Electron and Photon optics
- responsible department (27.8.2020 - not assigned)
Central European Institute of Technology BUT
- responsible department (6.3.2019 - 27.8.2020)
Center of Electron and Photon optics
- beneficiary (1.1.2019 - 31.12.2020)

Results

DOSTÁL, Z.; ANTOŠ, M.: DMD konfokální modul; Opto-mechanická sestava využívající DMD pro skenování vzorku při konfokálním zobrazení. A4/206, Technická 2. (funkční vzorek)
Detail

DOSTÁL, Z.: testovací lavice vlnoplochy; Funkční vzorek testovací lavice pro vysokorychlostní detekci směru odraženého světla. Fakulta strojnÍho inženýrství, Ustav fyzikálního inženýrství, Technická 2896/2, budova A2. (funkční vzorek)
Detail

DOSTÁL, Z.: DMD senzor; Testovací lavice pro měření vlnoplochy po průchodu optického elementu. Fakulta strojnÍho inženýrství, Ustav fyzikálního inženýrství, Technická 2896/2, budova A2. (funkční vzorek)
Detail

Responsibility: Vojkůvková Alena, Mgr.