Detail projektu

Advanced metrology for optical lithography and microscopy

Období řešení: 01.01.2019 — 31.12.2022

Zdroje financování

Technologická agentura ČR - Národní centra kompetence 1

- plně financující (2018-05-31 - 2020-12-31)

Označení

TN01000008/05

Originální jazyk

angličtina

Řešitelé

Dostál Zbyněk, Ing., Ph.D. - spoluřešitel

Útvary

NCK - Centrum elektronové a fotonové optiky
- příjemce (01.01.2019 - 31.12.2020)
Středoevropský technologický institut VUT
- odpovědné pracoviště (06.03.2019 - 27.08.2020)

Výsledky

DOSTÁL, Z.: DMD senzor; Testovací lavice pro měření vlnoplochy po průchodu optického elementu. Fakulta strojnÍho inženýrství, Ustav fyzikálního inženýrství, Technická 2896/2, budova A2. (funkční vzorek)
Detail

DOSTÁL, Z.; ANTOŠ, M.: DMD konfokální modul; Opto-mechanická sestava využívající DMD pro skenování vzorku při konfokálním zobrazení. A4/206, Technická 2. (funkční vzorek)
Detail

DOSTÁL, Z.: testovací lavice vlnoplochy; Funkční vzorek testovací lavice pro vysokorychlostní detekci směru odraženého světla. Fakulta strojnÍho inženýrství, Ustav fyzikálního inženýrství, Technická 2896/2, budova A2. (funkční vzorek)
Detail