Detail publikace

Plazma za sníženého tlaku, vlastnosti a aplikace

KRČMA, F.

Originální název

Plazma za sníženého tlaku, vlastnosti a aplikace

Český název

Plazma za sníženého tlaku, vlastnosti a aplikace

Typ

článek v časopise - ostatní, Jost

Jazyk

cs

Originální abstrakt

Příspěvek podává obecný přehled o široké problematice plazmatu používaného v různých technologických aplikacích. hlavní důraz je kladen na chemické procesy probíhající při depozičních procesech.

Český abstrakt

Příspěvek podává obecný přehled o široké problematice plazmatu používaného v různých technologických aplikacích. hlavní důraz je kladen na chemické procesy probíhající při depozičních procesech.

Rok RIV

2006

Vydáno

29.05.2006

Nakladatel

ČVS

Místo

Praha

ISSN

1213-2705

Periodikum

Zpravodaj České Vakuové Společnosti

Ročník

14

Číslo

1-2

Stát

CZ

Strany od

2

Strany do

6

Strany počet

5

Dokumenty

BibTex


@article{BUT43347,
  author="František {Krčma}",
  title="Plazma za sníženého tlaku, vlastnosti a aplikace",
  annote="Příspěvek podává obecný přehled o široké problematice plazmatu používaného v různých technologických aplikacích. hlavní důraz je kladen na chemické procesy probíhající při depozičních procesech.",
  address="ČVS",
  chapter="43347",
  institution="ČVS",
  journal="Zpravodaj České Vakuové Společnosti",
  number="1-2",
  volume="14",
  year="2006",
  month="may",
  pages="2--6",
  publisher="ČVS",
  type="journal article - other"
}