Publication detail

Plazma za sníženého tlaku, vlastnosti a aplikace

KRČMA, F.

Original Title

Plazma za sníženého tlaku, vlastnosti a aplikace

English Title

Low pressure plasma, properties and applications

Type

journal article - other

Language

Czech

Original Abstract

Příspěvek podává obecný přehled o široké problematice plazmatu používaného v různých technologických aplikacích. hlavní důraz je kladen na chemické procesy probíhající při depozičních procesech.

English abstract

The contribution gives a general overwiev on the wide problematic of low pressure plasmas used for various technological applications. The main stress is given on the chemical processes involved in the deposition processes.

Key words in English

Plasma physics, plasma chemistry, plasma processes

Authors

KRČMA, F.

RIV year

2006

Released

29. 5. 2006

Publisher

ČVS

Location

Praha

ISBN

1213-2705

Periodical

Zpravodaj České Vakuové Společnosti

Year of study

14

Number

1-2

State

Czech Republic

Pages from

2

Pages to

6

Pages count

5

BibTex

@article{BUT43347,
  author="František {Krčma}",
  title="Plazma za sníženého tlaku, vlastnosti a aplikace",
  journal="Zpravodaj České Vakuové Společnosti",
  year="2006",
  volume="14",
  number="1-2",
  pages="2--6",
  issn="1213-2705"
}