Publication detail

Řídicí systém pro leprání katod elektronového litografu

Original Title

Řídicí systém pro leprání katod elektronového litografu

Czech Title

Řídicí systém pro leprání katod elektronového litografu

Language

cs

Original Abstract

Projekt se zabývá vytvořením vyjímečného řídicího systému pro leptání katod elektronového litografu. Předpokládá začlenění tohoto řídicího systému do výrobního procesu leptání katod. Podle údajů získaných z leptacího systému je schopen řídicí sytém rozhodnout o optimálním nastavení leptacího procesu bez nutnosti vnějšího zásahu obsluhy. Aktivní komunikace s řídicím počítačovým systémem zajišťuje obsluze maximální uživatelské pohodlí a především informuje o aktuálním stavu všech parametrů leptacího procesu. Samozřejmostí je uživatelská možnost změny leptacího režimu, záloha veškerých dat získaných při leptacím režimu pro pozdější vyhodnocování a vizualizace leptacího procesu v reálném čase. Tento sytém výraznou měrou přispěje ke zlepšení parametrů vyráběných katod a následně ke zlepšení parametrů elektronového litografu.

Czech abstract

Projekt se zabývá vytvořením vyjímečného řídicího systému pro leptání katod elektronového litografu. Předpokládá začlenění tohoto řídicího systému do výrobního procesu leptání katod. Podle údajů získaných z leptacího systému je schopen řídicí sytém rozhodnout o optimálním nastavení leptacího procesu bez nutnosti vnějšího zásahu obsluhy. Aktivní komunikace s řídicím počítačovým systémem zajišťuje obsluze maximální uživatelské pohodlí a především informuje o aktuálním stavu všech parametrů leptacího procesu. Samozřejmostí je uživatelská možnost změny leptacího režimu, záloha veškerých dat získaných při leptacím režimu pro pozdější vyhodnocování a vizualizace leptacího procesu v reálném čase. Tento sytém výraznou měrou přispěje ke zlepšení parametrů vyráběných katod a následně ke zlepšení parametrů elektronového litografu.

BibTex


@techreport{BUT57558,
  author="Jaroslav {Kadlec}",
  title="Řídicí systém pro leprání katod elektronového litografu",
  annote="Projekt se zabývá vytvořením vyjímečného řídicího systému pro leptání katod elektronového litografu. Předpokládá začlenění tohoto řídicího systému do výrobního procesu leptání katod. Podle údajů získaných z leptacího systému je schopen řídicí sytém rozhodnout o optimálním nastavení leptacího procesu bez nutnosti vnějšího zásahu obsluhy. Aktivní komunikace s řídicím počítačovým systémem zajišťuje obsluze maximální uživatelské pohodlí a především informuje o aktuálním stavu všech parametrů leptacího procesu. Samozřejmostí je uživatelská možnost změny leptacího režimu, záloha veškerých dat získaných při leptacím režimu pro pozdější vyhodnocování a vizualizace leptacího procesu v reálném čase. Tento sytém výraznou měrou přispěje ke zlepšení parametrů vyráběných katod a následně ke zlepšení parametrů elektronového litografu.",
  address="Fond rozvoje vysokých škol",
  booktitle="Závěrečná zpráva o řešení grantového projektu č. 2833",
  chapter="57558",
  edition="2833",
  institution="Fond rozvoje vysokých škol",
  journal="Závěrečná zpráva o řešení grantového projektu č. 2833",
  year="2005",
  month="december",
  pages="0",
  publisher="Fond rozvoje vysokých škol",
  type="report"
}