Detail publikace

Řídicí systém pro leprání katod elektronového litografu

KADLEC, J.

Originální název

Řídicí systém pro leprání katod elektronového litografu

Anglický název

Control system for etching of cathode for electron-beam litography

Typ

výzkumná zpráva

Jazyk

čeština

Originální abstrakt

Projekt se zabývá vytvořením vyjímečného řídicího systému pro leptání katod elektronového litografu. Předpokládá začlenění tohoto řídicího systému do výrobního procesu leptání katod. Podle údajů získaných z leptacího systému je schopen řídicí sytém rozhodnout o optimálním nastavení leptacího procesu bez nutnosti vnějšího zásahu obsluhy. Aktivní komunikace s řídicím počítačovým systémem zajišťuje obsluze maximální uživatelské pohodlí a především informuje o aktuálním stavu všech parametrů leptacího procesu. Samozřejmostí je uživatelská možnost změny leptacího režimu, záloha veškerých dat získaných při leptacím režimu pro pozdější vyhodnocování a vizualizace leptacího procesu v reálném čase. Tento sytém výraznou měrou přispěje ke zlepšení parametrů vyráběných katod a následně ke zlepšení parametrů elektronového litografu.

Anglický abstrakt

Project is focused on the design of control system for cathode etching. Control device is focused on high precision measuring and real time monitoring of etching process. Final cathode product is implemented in electron-beam litograph and increases its importatnt parameters.

Klíčová slova v angličtině

electron-beam litography, control system, embedded devices

Autoři

KADLEC, J.

Vydáno

1. 12. 2005

Nakladatel

Fond rozvoje vysokých škol

Místo

Brno

Strany počet

16

BibTex

@techreport{BUT57558,
  author="Jaroslav {Kadlec}",
  title="Řídicí systém pro leprání katod elektronového litografu",
  year="2005",
  publisher="Fond rozvoje vysokých škol",
  address="Brno",
  series="2833",
  edition="1",
  pages="16"
}