Product detail

Mikromanipulátor pro fotolitografii

HRDÝ, R. HUBÁLEK, J.

Product type

funkční vzorek

Abstract

Zařízení pro přené sesouhlasení substrátu s fotomaskou pro fotolitografii. Obsahuje manipulátory s přesnotí 0,5 um. Zařízení je navrženo pro 4 palcové křemíkové desky a pro jejich fixaci je v zařízení umístěna přesně vyleptaná lamela.

Keywords

Mikroposuv. fotolitografie, kremíkový substrát

Create date

23.12.2011

Location

Laboratoř 0.66 UMEL, VUT, Technická 10, Brno

www