Detail produktu

Mikromanipulátor pro fotolitografii

HRDÝ, R. HUBÁLEK, J.

Typ produktu

funkční vzorek

Abstrakt

Zařízení pro přené sesouhlasení substrátu s fotomaskou pro fotolitografii. Obsahuje manipulátory s přesnotí 0,5 um. Zařízení je navrženo pro 4 palcové křemíkové desky a pro jejich fixaci je v zařízení umístěna přesně vyleptaná lamela.

Klíčová slova

Mikroposuv. fotolitografie, kremíkový substrát

Datum vzniku

23.12.2011

Umístění

Laboratoř 0.66 UMEL, VUT, Technická 10, Brno

Možnosti využití

Využití výsledku jiným subjektem je možné bez nabytí licence (výsledek není licencován)

Licenční poplatek

Poskytovatel licence na výsledek nepožaduje licenční poplatek

www