Publication detail

Nanotechnologie a optická nanometrologie

TOMÁNEK, P.

Original Title

Nanotechnologie a optická nanometrologie

English Title

Nanotechnology and optical nanometrology

Type

book

Language

Czech

Original Abstract

Nanovědy ležící na pomezí mezi fyzikou, chemií, biologií se stávají důležitou součástí budoucího vývoje vědy a techniky. Týkají se materiálů, které v nanometrických rozměrech vykazují překvapující nové vlastnosti. Studiu a rozvoji těchto výrobních a měřicích metod je věnována tato publikaci.

English abstract

Nanoscience on the interface betweem physics, chemistry and biology is becoming an important part of future science and technology development. It is concerned with materials which structures exhibit novel properties. The book deals with the study and development of these fabrication and measuring methods.

Keywords

nanotechnologie, optická nanometrologie, rastrovací silový mikroskop, teorie blízkého pole, superrozlišení, vnitřní fotoemise, charakteristika sond, nanolitografie, tloušťka tenké vrstvy

Key words in English

nanotechnology, optical nanometrology, scanning force microscopy, theory of the near-field, superresolution, internal photoemission, characterization of probes, nanolithography, thin film thickness

Authors

TOMÁNEK, P.

RIV year

2001

Released

1. 4. 2000

Publisher

VUTIUM

Location

Brno

ISBN

80-214-1589-4

Edition

Habilitační a inaugurační spisy, sv. 24

Pages count

21

BibTex

@book{BUT61261,
  author="Pavel {Tománek}",
  title="Nanotechnologie a optická nanometrologie",
  year="2000",
  publisher="VUTIUM",
  address="Brno",
  series="Habilitační a inaugurační spisy, sv. 24",
  pages="21",
  isbn="80-214-1589-4"
}