Publication detail

Reaktivní magnetronové naprašování vrstev SiNx pro povrchovou pasivaci krystalických solárních článků

Original Title

Reaktivní magnetronové naprašování vrstev SiNx pro povrchovou pasivaci krystalických solárních článků

Czech Title

Reaktivní magnetronové naprašování vrstev SiNx pro povrchovou pasivaci krystalických solárních článků

Language

cs

Original Abstract

Hlavní výhodou pasivačních vrstev vytvářených reaktivním magnetronovým naprašováním je zejména nízká procesní teplota. Použití nízkoteplotní depozice umožňuje redukci poruch krystalické mřížky křemíkového povrchu. Díky tomu je snižována rekombinační rychlost a prodlužuje se doba života minoritních nosičů. Cílem práce je vytvořit pasivační vrstvu na povrchu fotovoltaického solárního článku, jejíž struktura umožní zlepšení optických a elektrických vlastností celého článku.

Czech abstract

Hlavní výhodou pasivačních vrstev vytvářených reaktivním magnetronovým naprašováním je zejména nízká procesní teplota. Použití nízkoteplotní depozice umožňuje redukci poruch krystalické mřížky křemíkového povrchu. Díky tomu je snižována rekombinační rychlost a prodlužuje se doba života minoritních nosičů. Cílem práce je vytvořit pasivační vrstvu na povrchu fotovoltaického solárního článku, jejíž struktura umožní zlepšení optických a elektrických vlastností celého článku.

BibTex


@inproceedings{BUT24901,
  author="Ondřej {Hégr} and Jaroslav {Boušek}",
  title="Reaktivní magnetronové naprašování vrstev SiNx pro povrchovou pasivaci krystalických solárních článků",
  annote="Hlavní výhodou pasivačních vrstev vytvářených reaktivním magnetronovým naprašováním je zejména nízká procesní teplota. Použití nízkoteplotní depozice umožňuje redukci poruch krystalické mřížky křemíkového povrchu. Díky tomu je snižována rekombinační rychlost a prodlužuje se doba života minoritních nosičů.
Cílem práce je vytvořit pasivační vrstvu na povrchu fotovoltaického solárního článku, jejíž struktura umožní zlepšení optických a elektrických vlastností celého článku.
",
  address="nakl. Z. Novotný",
  booktitle="Konference MIKROSYN. Nové trendy v mikroelektronických systémech a nanotechnologiích",
  chapter="24901",
  institution="nakl. Z. Novotný",
  number="1",
  year="2006",
  month="december",
  pages="124",
  publisher="nakl. Z. Novotný",
  type="conference paper"
}