Detail publikace

Reaktivní magnetronové naprašování vrstev SiNx pro povrchovou pasivaci krystalických solárních článků

Ondřej Hégr, Jaroslav Boušek

Originální název

Reaktivní magnetronové naprašování vrstev SiNx pro povrchovou pasivaci krystalických solárních článků

Anglický název

Reactive magnetron sputtering of SiNx layers for surface passivation of crystalline solar cells

Typ

článek ve sborníku ve WoS nebo Scopus

Jazyk

čeština

Originální abstrakt

Hlavní výhodou pasivačních vrstev vytvářených reaktivním magnetronovým naprašováním je zejména nízká procesní teplota. Použití nízkoteplotní depozice umožňuje redukci poruch krystalické mřížky křemíkového povrchu. Díky tomu je snižována rekombinační rychlost a prodlužuje se doba života minoritních nosičů. Cílem práce je vytvořit pasivační vrstvu na povrchu fotovoltaického solárního článku, jejíž struktura umožní zlepšení optických a elektrických vlastností celého článku.

Anglický abstrakt

For deposition of SiNx films the main advantage of magnetron sputtering technology is low process temperature. The amount of the crystal lattice deffect decrease when using this low-temperature process. The aim of work was evaluation of both front and back side surface recombinations and optical properties of sputtered layers.

Klíčová slova

pasivační vrstva, rekombinace, magnetronové naprašování, solární články

Klíčová slova v angličtině

passivation layer, magnetron sputtering, solar cells, recombination

Autoři

Ondřej Hégr, Jaroslav Boušek

Rok RIV

2006

Vydáno

12. 12. 2006

Nakladatel

nakl. Z. Novotný

ISBN

80-214-3342-6

Kniha

Konference MIKROSYN. Nové trendy v mikroelektronických systémech a nanotechnologiích

Strany od

124

Strany do

129

Strany počet

6

BibTex

@inproceedings{BUT24901,
  author="Ondřej {Hégr} and Jaroslav {Boušek}",
  title="Reaktivní magnetronové naprašování vrstev SiNx pro povrchovou pasivaci krystalických solárních článků",
  booktitle="Konference MIKROSYN. Nové trendy v mikroelektronických systémech a nanotechnologiích",
  year="2006",
  volume="2006",
  number="1",
  pages="6",
  publisher="nakl. Z. Novotný",
  isbn="80-214-3342-6"
}