Product detail

Prekurzorový vstup do reaktoru

KOLÍBAL, M. MUSÁLEK, T. ELIÁŠ, M.

Product type

funkční vzorek

Abstract

Difuzor z nerezové oceli pro rovnoměrnou distribuci plynů v CVD aparatuře, se vstupy se Swagelok koncovkou.

Keywords

depozice z chemické fáze; difuzor, prekurzor

Create date

13. 12. 2023

Location

laboratoře CEITEC Nano

Possibilities of use

Výsledek je využíván vlastníkem

Licence fee

Poskytovatel licence na výsledek nepožaduje licenční poplatek

www

VUT