Detail produktu

Prekurzorový vstup do reaktoru

KOLÍBAL, M. MUSÁLEK, T. ELIÁŠ, M.

Typ produktu

funkční vzorek

Abstrakt

Difuzor z nerezové oceli pro rovnoměrnou distribuci plynů v CVD aparatuře, se vstupy se Swagelok koncovkou.

Klíčová slova

depozice z chemické fáze; difuzor, prekurzor

Datum vzniku

13. 12. 2023

Umístění

laboratoře CEITEC Nano

Možnosti využití

Výsledek je využíván vlastníkem

Licenční poplatek

Poskytovatel licence na výsledek nepožaduje licenční poplatek

www

VUT