Product detail
Systém pro udržování konstantního odstupu od povrchu substrátu
ŘEZNÍČEK, M. BURŠÍK, M. JANKOVSKÝ, J. OTÁHAL, A.
Product type
funkční vzorek
Abstract
Jedná se o pneumatický systém pro kompenzaci nerovností povrchu substrátů. Princip je založen na sledování změn tlaku vzduchu.
Keywords
Konstantní výška, tlak, měření, udržování
Create date
21.12.2015
Location
laboratoř 0.63 Vysoké učení technické v Brně Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií Ústav mikroelektroniky Technická 3058/10 616 00 Brno Česká republika
Documents