Product detail

Systém pro udržování konstantního odstupu od povrchu substrátu

ŘEZNÍČEK, M. BURŠÍK, M. JANKOVSKÝ, J. OTÁHAL, A.

Product type

funkční vzorek

Abstract

Jedná se o pneumatický systém pro kompenzaci nerovností povrchu substrátů. Princip je založen na sledování změn tlaku vzduchu.

Keywords

Konstantní výška, tlak, měření, udržování

Create date

21.12.2015

Location

laboratoř 0.63 Vysoké učení technické v Brně Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií Ústav mikroelektroniky Technická 3058/10 616 00 Brno Česká republika

Documents