Detail produktu

Systém pro udržování konstantního odstupu od povrchu substrátu

ŘEZNÍČEK, M. BURŠÍK, M. JANKOVSKÝ, J. OTÁHAL, A.

Typ produktu

funkční vzorek

Abstrakt

Jedná se o pneumatický systém pro kompenzaci nerovností povrchu substrátů. Princip je založen na sledování změn tlaku vzduchu.

Klíčová slova

Konstantní výška, tlak, měření, udržování

Datum vzniku

21.12.2015

Umístění

laboratoř 0.63 Vysoké učení technické v Brně Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií Ústav mikroelektroniky Technická 3058/10 616 00 Brno Česká republika

Možnosti využití

K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence

Licenční poplatek

Poskytovatel licence na výsledek požaduje licenční poplatek