Product detail

Iontový zdroj typu Colutron

VOBORNÝ, S. HORKÝ, M. ŠIKOLA, T.

Product type

funkční vzorek

Abstract

Iontový zdroj je zařízení pro tvorbu fokusovaného iontového svazku používaného při analýzách, čištění nebo depozicích tenkých vrstev. Navržený zdroj je založen na komerční výbojové komoře firmy Colutron Research Corporation (nyní Beam Imaging Solutions), ke které byly navrženy a realizovány podpůrné systémy (nosný, chladící, elektrický, extrakční a fokusační).

Keywords

Iontový zdroj; iontový svazek; výbojová komora; depozice tenkých vrstev; čištění tenkých vrstev; analýza tenkých vrstev.

Create date

22. 11. 2013

Location

A2/518

Possibilities of use

K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence

Licence fee

Poskytovatel licence na výsledek požaduje licenční poplatek

www

http://surfaces.fme.vutbr.cz/laboratories/developed-instruments/2013-08/