Detail produktu

Iontový zdroj typu Colutron

VOBORNÝ, S. HORKÝ, M. ŠIKOLA, T.

Typ produktu

funkční vzorek

Abstrakt

Iontový zdroj je zařízení pro tvorbu fokusovaného iontového svazku používaného při analýzách, čištění nebo depozicích tenkých vrstev. Navržený zdroj je založen na komerční výbojové komoře firmy Colutron Research Corporation (nyní Beam Imaging Solutions), ke které byly navrženy a realizovány podpůrné systémy (nosný, chladící, elektrický, extrakční a fokusační).

Klíčová slova

Iontový zdroj; iontový svazek; výbojová komora; depozice tenkých vrstev; čištění tenkých vrstev; analýza tenkých vrstev.

Datum vzniku

22.11.2013

Umístění

A2/518

Možnosti využití

K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence

Licenční poplatek

Poskytovatel licence na výsledek požaduje licenční poplatek

www

Dokumenty