funkční vzorek

Iontový zdroj je zařízení pro tvorbu fokusovaného iontového svazku používaného při analýzách, čištění nebo depozicích tenkých vrstev. Navržený zdroj je založen na komerční výbojové komoře firmy Colutron Research Corporation (nyní Beam Imaging Solutions), ke které byly navrženy a realizovány podpůrné systémy (nosný, chladící, elektrický, extrakční a fokusační).

Iontový zdroj; iontový svazek; výbojová komora; depozice tenkých vrstev; čištění tenkých vrstev; analýza tenkých vrstev.

22. 11. 2013

A2/518

K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence

Poskytovatel licence na výsledek požaduje licenční poplatek

http://surfaces.fme.vutbr.cz/laboratories/developed-instruments/2013-08/