diplomová práce
Sestavení a testování zařízení pro výrobu ozonované vody a její aplikace na čištění křemíkových desek
Text práce 6.75 MBAutor práce: Ing. Dalibor Ředina
Ak. rok: 2016/2017
Vedoucí: Ing. Stanislav Voborný, Ph.D.
Oponent: doc. RNDr. Petr Mikulík, Ph.D.
Abstrakt:Deionizovaná ozonovaná voda neboli tzv. DIO3 se zdá být vhodnou alternativou pro použití v polovodičovém průmyslu. Užití DIO3 při odstraňování fotorezistu z křemíkových desek je rychlejší, levnější a šetrnější k životnímu prostředí oproti klasické technologii založené na použití směsi kyseliny sírové a peroxidu vodíku neboli SPM.
Diplomová práce se zabývá prvně rešerší na téma ozon a ozonované vody a jejich možné aplikace. V dalších částech jsou popsány dva prototypy generátorů DIO3, jež byly sestaveny ve společnosti CSVG a.s. Testování parametrů generátorů na koncentraci rozpuštěného ozonu je taktéž součástí této práce. Dále jsou v práci uvedeny i testy, které byly provedeny ve společnosti ON Semiconductor v Rožnově pod Radhoštěm. V testech je porovnávána účinnost čištění pomocí klasické technologie využívající SPM a pomocí DIO3.
ozon, ozonovaná voda, DIO3, polovodičový průmysl, kontaktor, membránový kontaktor, destruktor, SPM, generátor DIO3, CSVG a.s., čištění Si desek, TXRF
Termín obhajoby
20.6.2017
Výsledek obhajoby
obhájeno (práce byla úspěšně obhájena)
Klasifikace
A
Jazyk práce
čeština
Fakulta
Ústav
Studijní program
Aplikované vědy v inženýrství (M2A-P)
Studijní obor
Fyzikální inženýrství a nanotechnologie (M-FIN)
Složení komise
prof. RNDr. Tomáš Šikola, CSc. (předseda)
prof. RNDr. Miroslav Liška, DrSc. (místopředseda)
prof. RNDr. Bohumila Lencová, CSc. (člen)
prof. RNDr. Jiří Komrska, CSc. (člen)
prof. RNDr. Petr Dub, CSc. (člen)
prof. RNDr. Radim Chmelík, Ph.D. (člen)
prof. RNDr. Jiří Spousta, Ph.D. (člen)
prof. RNDr. Eduard Schmidt, CSc. (člen)
prof. RNDr. Pavel Zemánek, Ph.D. (člen)
RNDr. Antonín Fejfar, CSc. (člen)
Posudek vedoucího
Ing. Stanislav Voborný, Ph.D.
Známka navržená vedoucím: A
Posudek oponenta
doc. RNDr. Petr Mikulík, Ph.D.
Známka navržená oponentem: A