diplomová práce

Vliv elektronového svazku na grafenové polem řízené tranzistory

Text práce 7.56 MB

Autor práce: Ing. David Mareček

Ak. rok: 2016/2017

Vedoucí: doc. Ing. Jan Čechal, Ph.D.

Oponent: prof. RNDr. Vladimír Čech, Ph.D.

Abstrakt:

Tato diplomová práce se věnuje elektrické vodivosti grafenu, přípravě grafenového polem řízeného tranzistoru a jeho ozařování elektronovým svazkem. Teoretická část popisuje elektrické vlastnosti grafenu, jeho přípravu pomocí metody CVD a přenos na křemíkový substrát s vrstvou SiO_2. Experimentální část této práce se zabývá přípravou grafenového polem řízeného tranzistoru pro použití v UHV podmínkách. Dále popisuje skenování elektronového svazku přes vyrobený tranzistor a tvorbu proudových map tranzistoru. V poslední části se věnuje vlivu elektronového svazku na transportní vlastnosti grafenové vrstvy a dotování grafenové vrstvy, indukované elektronovým svazkem.

Klíčová slova:

grafen, chemická depozice z plynné fáze, Diracův bod, elektronový svazek, SiO_2, transportní vlastnosti.

Termín obhajoby

20.6.2017

Výsledek obhajoby

obhájeno (práce byla úspěšně obhájena)

znakmkaAznamka

Klasifikace

A

Jazyk práce

čeština

Fakulta

Ústav

Studijní program

Aplikované vědy v inženýrství (M2A-P)

Studijní obor

Fyzikální inženýrství a nanotechnologie (M-FIN)

Složení komise

prof. RNDr. Tomáš Šikola, CSc. (předseda)
prof. RNDr. Miroslav Liška, DrSc. (místopředseda)
prof. RNDr. Bohumila Lencová, CSc. (člen)
prof. RNDr. Jiří Komrska, CSc. (člen)
prof. RNDr. Petr Dub, CSc. (člen)
prof. RNDr. Radim Chmelík, Ph.D. (člen)
prof. RNDr. Jiří Spousta, Ph.D. (člen)
prof. RNDr. Eduard Schmidt, CSc. (člen)
prof. RNDr. Pavel Zemánek, Ph.D. (člen)
RNDr. Antonín Fejfar, CSc. (člen)

Posudek vedoucího
doc. Ing. Jan Čechal, Ph.D.

Ve své bakalářské práci D. Mareček položil základy vedoucí k objevu silného bezkontaktního dotování grafenu (Sci. Rep. 7, 563, 2017).  Dopování rentgenem (i jinými fotonovými zdroji) však dotuje grafen pouze negativně. Cílem navazující diplomové práce bylo dosáhnout libovonného dotování, tedy jak negativního, tak pozitivního. Jako prostředek byl zvolen svazek elektronů. Klíčovým experimentálním aspektem, který byl v rámci diplomové práce navržen a realizován, je překrytí grafenu vrstvou Al2O3 a nastavení takové energie elektronové svazku, při které do okolí grafenu proniknou pouze elektrony o nízké energii. Takto se podařilo dosáhnout cíle diplomové práce, který je unikátní v mezinárodním kontextu. Nicméně je nutné podotknout, že přesný mechanismus bipolárního dotování je zatím nejasný. David Mareček pracoval na své práci samostatně a díky jeho experimentálnímu úsilí ji dovedl do úspěšného konce.
Kritérium hodnocení Známka
Splnění požadavků a cílů zadání A
Postup a rozsah řešení, adekvátnost použitých metod A
Vlastní přínos a originalita A
Schopnost interpretovat dosažené vysledky a vyvozovat z nich závěry B
Využitelnost výsledků v praxi nebo teorii A
Logické uspořádání práce a formální náležitosti A
Grafická, stylistická úprava a pravopis A
Práce s literaturou včetně citací A
Samostatnost studenta při zpracování tématu A

Známka navržená vedoucím: A

Posudek oponenta
prof. RNDr. Vladimír Čech, Ph.D.

Řešená problematika je velmi aktuální. Je patrné, že příprava vzorků a jejich analýzy byly technicky a technologicky velmi náročné. Student prokázal, že je schopen řešit náročnou problematiku mezinárodního významu. Výsledky práce přinesly nové vědecké poznatky.
Kritérium hodnocení Známka
Splnění požadavků a cílů zadání A
Postup a rozsah řešení, adekvátnost použitých metod A
Vlastní přínos a originalita A
Schopnost interpretovat dosaž. vysledky a vyvozovat z nich závěry B
Využitelnost výsledků v praxi nebo teorii A
Logické uspořádání práce a formální náležitosti A
Grafická, stylistická úprava a pravopis B
Práce s literaturou včetně citací A

Známka navržená oponentem: A