Detail předmětu
Epitaxní materiály pro elektroniku a fotoniku
CEITEC VUT-DS117Ak. rok: 2020/2021
Studenti získají hlubší přehled v oblasti elektronických, optoelektronických a fotonických zařízení a součástek na bázi polovodičů. V rámci předmětu budou studenti seznámeni s fyzikou a relevantními technologie přípravy polovodičů, včetně epitaxního růstu heterostruktur a nanostruktur. Ve druhé části kurzou budou diskutovány aplikace v součástkách, mj. transistory s vysokou pohyblivostí náboje, diodové lasery, lasery založené na emisi z kavity a na kvantové kaskádě v střední infračervené a terahertzové oblasti.
Garant předmětu
Zajišťuje ústav
Způsob a kritéria hodnocení
ústní zkouška
Jazyk výuky
angličtina
Osnovy výuky
• Základy fyziky polovodičů
• Vhodné materiály a relevantní procesy (dotování, pnutí vznikající rozdílem mřížkových konstant atd.)
• Epitaxní procesy (kinetika růstových mechanismů, limity)
• Molekulární svazková epitaxe a technika získávání ultravakua (požadavky, komponenty, příklady)
• Organokovová depozice z plynné fáze (požadavky, komponenty, příklady)
• In-situ a ex-situ techniky pro analýzu (RHEED, Analýza zbytkových plynů, mikroskopie, rtg difrakce)
• Epitaxní růst samouspořádaných nanostruktur (kvantové tečky, nanodráty, uspořádávání, příprava heterostruktur)
• Aplikace polovodičových heterostruktur v součástkách (HEMT, diodové lasery, VCSEL, QCL)