Detail předmětu
Mikrosenzory a mikroelektromechanické systémy
FEKT-BPC-MMSAk. rok: 2020/2021
Úvod do problematiky mikrosenzorů, základních pojmů a parametrů, a mikroelektromechanických systémů (MEMS). Základy mikroelektronických technologií a MEMS technologie. Základy jevů v materiálech včetně polovodičů a jejich využití v senzorice. Odporové, kapacitní a indukčnostní microsenzory včetmě MEMS řešení (polohy, tlaku, teploty, zrychlení, ...) . Magnetoelektrické senzory a Hallovy sondy. Generátorové senzory na termoelektrickém, piezoelektrickém a indukčním principu. Optické senzory a senzory se CCD prvky. Generátorové senzory světelného záření. Chemické senzory a biosenzory (vodivostní, pH senzory, lambda sonda, enzymové senzory, ...). Nové trendy v mikrosenzorice a v MEMS.
Garant předmětu
Zajišťuje ústav
Výsledky učení předmětu
Absolvent předmětu je schopen:
- vysvětlit základní vlastnosti senzorů
- vysvětlit rozdíl mezi senzorem a převodníkem veličin
- vysvětlit principy mikroelektromechanických systémů,
- popsat základní principy převodů neelektrických veličin
- pospat technologie pro vytváření mikrosenzorů
- vysvětlit rozdíl mezi fyzikálním, chemickým senzorem a biosenzorem
Prerekvizity
Student, který si zapíše předmět, by měl být schopen vysvětlik fyzikální principy z osnov fyziky střední školy. Měl by znát ohmův zákon, vypočítat kapacitu kondenzátoru, znát rozdíl mezí vlastním a nevlastním polovodičem, polovodičem typu P a N, diskutovat o rozdílu mezi bipolárním a unipolárním tranzistorem, funkcí diody a vědět základní rozdělení energetických pásem elektromagnetického vlnění. Obecně jsou požadovány znalosti na úrovni bakalářského studia.
Práce v laboratoři je podmíněna platnou kvalifikací „pracovníka poučeného“ dle Vyhl. 50/1978 Sb., kterou musí studenti získat před zahájením výuky. Informace k této kvalifikaci jsou uvedeny ve Směrnici děkana Seznámení studentů s bezpečnostními předpisy.
Doporučená nebo povinná literatura
HUBÁLEK, J.; DRBOHLAVOVÁ, J.; PRÁŠEK, J.; BUŠINOVÁ, P.; BENDOVÁ, M. Mikrosenzory a mikroelektromechanické systémy. Brno: 2012. (CS)
HUBÁLEK, J.; PRÁŠEK, J.; PEKÁRKOVÁ, J; BENDOVÁ, M.; DRBOHLAVOVÁ, J.; MAJZLÍKOVÁ, P. Microsensors and Microelectromechanical Systems. Brno: 2015. (EN)
Plánované vzdělávací činnosti a výukové metody
Metody vyučování závisejí na způsobu výuky a jsou popsány článkem 7 Studijního a zkušebního řádu VUT.
Zahrující:
přednášky formou technického semináře;
samostatná laboratorní cvičení včetně přípravy a vypracování protokolů;
využití LMS Moodle, praktické ukázky a návštěva výzkumné laboratoře LABSENSNANO.
Způsob a kritéria hodnocení
Podmínky pro úspěšné ukončení předmětu stanoví každoročně aktualizovaná vyhláška garanta předmětu. Informace jsou uvedeny ve zkušebních pravidlech na webových stránkách předmětu.
Jazyk výuky
čeština
Osnovy výuky
1. Úvod do problematiky senzorové techniky
2. Základy mikroelektronických technologií
3. Mikroelektromechanické systémy (MEMS)
4. Odporové senzory
5. Kapacitní senzory
6. Indukčnostní senzory
7. Generátorové senzory
8. Polovodičové senzory
9. Optické Senzory
10. Speciální senzory
11. Chemické senzory a biosenzory
Cíl
Cílem kurzu je seznámit posluchače s teorií, principy a konstrukcí mikrosenzorů a mikroelektromechanických systémů (MEMS). Hlavním úkolem kurzu je poskytnutí znalosti pro jejich návrh a optimální využití.
Vymezení kontrolované výuky a způsob jejího provádění a formy nahrazování zameškané výuky
Vymezení kontrolované výuky a způsob jejího provádění stanoví každoročně aktualizovaná vyhláška garanta předmětu.
Typ (způsob) výuky
eLearning
eLearning: aktuální otevřený kurz