Course detail

Microtechnologies

CEITEC VUT-DS107AAcad. year: 2023/2024

Doktorský kurz je zaměřen na oblast mikrotechnologií, mikroobrábění a mikrozařízení. Hlavním cílem je dát teoretické a experimentální základy v metodách a technikách mikrotechnologií dostupných v CEITEC. Kurz se také zaměřuje na mikroobrábění křemíku pro vytvoření mechanických systémůna čipu nazývaných MEMS. Nakonec bude prezentována MOS technologie k ukázání základních struktur jao transistor, kapacitor a diode. Kurz pomůže získat znalosti k tomu, jak CEITEC technologie využít k vytváření různých mikrozařízení.

Language of instruction

English

Entry knowledge

Basic knowledge of physical chemistry and physics of materials.

Rules for evaluation and completion of the course

At the end of the course, the student will prepare a 20-minute presentation on the selected deposition method/technique in English, which will be used for the course exam. The evaluation is based on the prepared material, understanding of the subject matter, presentation and literature used.


Aims

Not applicable.

Study aids

Not applicable.

Prerequisites and corequisites

Not applicable.

Basic literature

Handbook of Microlithography, Micromachining, and Microfabrication. Volume 1,2, Edited by P. Rai-Choudhury. Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers, 1997
Marc J. Madou, Fundamentals of Microfabrication and Nanotechnology, Third Edition, Three-Volume Set. CRC Press, 2011
Tai-Ran Hsu, MEMS & Microsystems: Design, Manufacture, and Nanoscale Engineering. Wiley, 2008

Recommended reading

Not applicable.