Publication detail

Optické metody diagnostiky plazmatu pro depozice tenkých vrstev za nízkého tlaku

Original Title

Optické metody diagnostiky plazmatu pro depozice tenkých vrstev za nízkého tlaku

Czech Title

Optické metody diagnostiky plazmatu pro depozice tenkých vrstev za nízkého tlaku

Language

cs

Original Abstract

Příspěvek podává základní přehled metod optické spektroskopie užívyných v diagnostice nízkotlakého plazmatu. Na základě poznatků z kvantové mechaniky je podán přehled postupů výpočtu elektronové, vibrační a rotační teploty ze spektra. Je také zahrnut výpočet koncentrace elektronů. Na příkladu nehomogenního plazmatu je ukázán proncip Abelovy transformace. Poslední část pak podává stručný přehled absorpčních spektroskopických metod s ohledem na jejich využitelnost v diagnostice plazmatu.

Czech abstract

Příspěvek podává základní přehled metod optické spektroskopie užívyných v diagnostice nízkotlakého plazmatu. Na základě poznatků z kvantové mechaniky je podán přehled postupů výpočtu elektronové, vibrační a rotační teploty ze spektra. Je také zahrnut výpočet koncentrace elektronů. Na příkladu nehomogenního plazmatu je ukázán proncip Abelovy transformace. Poslední část pak podává stručný přehled absorpčních spektroskopických metod s ohledem na jejich využitelnost v diagnostice plazmatu.

Documents

BibTex


@article{BUT42473,
  author="František {Krčma}",
  title="Optické metody diagnostiky plazmatu pro depozice tenkých vrstev za nízkého tlaku",
  annote="Příspěvek podává základní přehled metod optické spektroskopie užívyných v diagnostice nízkotlakého plazmatu. Na základě poznatků z kvantové mechaniky je podán přehled postupů výpočtu elektronové, vibrační a rotační teploty ze spektra. Je také zahrnut výpočet koncentrace elektronů. Na příkladu nehomogenního plazmatu je ukázán proncip Abelovy transformace. Poslední část pak podává stručný přehled absorpčních spektroskopických metod s ohledem na jejich využitelnost v diagnostice plazmatu.",
  address="Česká vakuová společnost",
  chapter="42473",
  institution="Česká vakuová společnost",
  journal="Zpravodaj České Vakuové Společnosti",
  number="2",
  volume="13",
  year="2005",
  month="may",
  pages="6--16",
  publisher="Česká vakuová společnost",
  type="journal article - other"
}