Publication detail

Využití metod nábojového sběru v rastrovacím elektronovém mikroskopu pro diagnostiku poruch v polovodičích

AUTRATA, R., JIRÁK, J., ŠPINKA, J.

Original Title

Využití metod nábojového sběru v rastrovacím elektronovém mikroskopu pro diagnostiku poruch v polovodičích

Type

conference paper

Language

Czech

Authors

AUTRATA, R., JIRÁK, J., ŠPINKA, J.

RIV year

1994

Released

1. 1. 1995

Publisher

Ústav mikroelektroniky VUT v Brně

Location

Brno

Pages from

40

Pages to

40

Pages count

1

BibTex

@inproceedings{BUT1106,
  author="Rudolf {Autrata} and Josef {Jirák} and Jiří {Špinka}",
  title="Využití metod nábojového sběru v rastrovacím elektronovém mikroskopu pro diagnostiku poruch v polovodičích",
  booktitle="Využití metod nábojového sběru v rastrovacím elektronové",
  year="1995",
  pages="1",
  publisher="Ústav mikroelektroniky VUT v Brně",
  address="Brno"
}