software

Program slouží pro měření topografie povrchu interferometrií v bílém světle (VSI - Vertical scanning interferometry) a interferometrií s řízenou změnou fáze (PSI - Phase shifting interferometry) . V případě metody VSI se povrch vzorku skenuje ve svislém směru s krokem 70-140 nm. Výsledkem je sada interferogramů v počtu 64 až 512, které se následně analyzují a vyhodnotí se topografie povrchu. U metody PSI je sejmuto pět až deset interferogramů, mezi kterými je jedno z ramen interferometru posouváno o známý fázový posuv. Jednotlivé snímky lze průměrovat z 2-250 snímků pro potlačení vlivu vibrací, fluktuace intenzity zdroje a šumu.

mikroskopie, bílé světlo, monochromatické světlo

25. 11. 2010

A2/421

K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence

Poskytovatel licence na výsledek nepožaduje licenční poplatek

http://dl.uk.fme.vutbr.cz/zobraz_soubor.php?id=1330