Product detail

Univerzální polohovací stolek pro reflexní mikroskopii

ANTOŠ, M. LOVICAR, L.

Product type

funkční vzorek

Abstract

Polohovací stolek pro reflexní mikroskopii umožňuje nezávislé plohování vzorku ve třech navzájem kolmých osách x,y,z. Pohyb stolku ve směru optické osy mikroskopu je zajištěn třemi oddělenými nezávislými lineárními pohyby. První dva pohyby jsou ovládány justážními kroužky dvou přesně soustružených pohybových šroubů s hrubým rozlišením 0,01 mm v rozsahu 30mm a jemným rozlišením 0,001 v rozsahu 5mm. Třetí pohyb je ovládán piezoelektrickým převodníkem v rozsahu 100 mikrometrů s rozlišením 1 nm. Pohyb v příčném směru x,y v rozsahu 25 mm je realizován užitím dvou nezávisle řízených stolků s ultrasonickými motory s minimálním krokem 0,3 mikrometru.

Keywords

mikropolohování, reflexní mikroskopie

Create date

15. 1. 2010

Location

VUT FSI v Brně A2/212

Possibilities of use

Využití výsledku jiným subjektem je možné bez nabytí licence (výsledek není licencován)

Licence fee

Poskytovatel licence na výsledek nepožaduje licenční poplatek

www