Product detail

Ionizační detektor pro detekci SE v EREM

JIRÁK, J. ČERNOCH, P.

Product type

funkční vzorek

Abstract

Detektor pro environmentální rastrovací elektronový mikroskop (EREM), pracující na principu zesílení signálních elektronů nárazovou ionizací v plynném prostředí komory vzorku. Elektrodový systém detektoru je optimalizován pro detekci převážně sekundárních elektronů pro zajištění převážně topografického kontrastu v obraze vzorku.

Keywords

Ionizační detektor, EREM, detekce sekundárních elektronů

Create date

9. 2. 2009

Location

EREM Aquasem, ÚPT AVČR Královopolská 147, 612 64 Brno.

Possibilities of use

Využití výsledku jiným subjektem je možné bez nabytí licence (výsledek není licencován)

Licence fee

Poskytovatel licence na výsledek nepožaduje licenční poplatek

www

http://www.uete.feec.vutbr.cz