Publication detail

Depozice amorfního křemíku

SALYK, O., PORUBA, A.

Original Title

Depozice amorfního křemíku

English Title

Deposition of Amorphous silicon

Type

conference paper

Language

Czech

Original Abstract

Tutoriální přehled o technologiích depozice amorfního křemíku, obsahujících metody depozice z plynné fáze ve vysokofrekvenčním a mikrovlnném výboji v režimu elektronové cyklotronové rezonance, naprašování a napařování pomocí elektronového svazku.

English abstract

Tutorial overview of deposition techniques of amorphous silicon icluded chemical vapor deposition in rf and microwave discharge in electron cyclotron resonance regime, sputtering and electron beam evaporation.

Key words in English

deposition, amorphous silicon

Authors

SALYK, O., PORUBA, A.

RIV year

1999

Released

1. 1. 1999

Publisher

V. Dubravcová, P. Řepa, Slovakia,1999

Location

Bratislava

ISBN

80-227-119

Book

Škola vákuovej techniky 1999

Pages from

75

Pages to

83

Pages count

8

BibTex

@inproceedings{BUT695,
  author="Ota {Salyk} and Aleš {Poruba}",
  title="Depozice amorfního křemíku",
  booktitle="Škola vákuovej techniky 1999",
  year="1999",
  pages="75--83",
  publisher="V. Dubravcová, P. Řepa, Slovakia,1999",
  address="Bratislava",
  isbn="80-227-119"
}