Publication detail

Charakterizace nanostruktur deponovaných vysokofrekvenčním magnetronovým naprašováním

Original Title

Charakterizace nanostruktur deponovaných vysokofrekvenčním magnetronovým naprašováním

Czech Title

Charakterizace nanostruktur deponovaných vysokofrekvenčním magnetronovým naprašováním

Language

cs

Original Abstract

Práce se zabývá analýzou nanostrukturovaných vrstev, deponovaných na povrch monokrystalického křemíku pomocí vysokofrekvenčního magnetronového naprašování. Obsah práce je zaměřen na aplikaci magnetronového naprašování jako alternativní metody pro depozici pasivačních a antireflexních vrstev na křemíkových solárních článcích. Je navržen postup pro předdepoziční čištění povrchů křemíkových substrátů plazmatickým leptáním v prostředí Ar/H2 a reaktivní depozici hydrogenovaných vrstev nitridu křemíku a nitridu hliníku ve směsi plynů Ar/N2/H2. Část práce je věnována popisu experimentálních depozic pseudokarbidových vrstev z křemíkového terče a reaktivního acetylenu (C2H2) v průmyslových podmínkách. Velký důraz je kladen na zkoumání vlastností vrstev a vytvářených poměrů na rozhraní křemík-vrstva za pomoci několika standardních a speciálních měřících metod. Strukturální složení naprašovaných vrstev je analyzováno moderními metodami rentgenové spektroskopie (XPS) a Fourierovské infračervené spektroskopie (FTIR). Pro diagnostiku optických vlastností naprašovaných vrstev v závislosti na vlnových délkách dopadajícího světla jsou vrstvy měřeny pomocí optické elipsometrie a spektrofotometrie. Zkoumání pasivačních účinků naprašovaných vrstev je zajišťováno speciální metodou pro měření plošného rozložení doby života nosičů náboje v objemu a na povrchu křemíkových substrátů (MW-PCD).

Czech abstract

Práce se zabývá analýzou nanostrukturovaných vrstev, deponovaných na povrch monokrystalického křemíku pomocí vysokofrekvenčního magnetronového naprašování. Obsah práce je zaměřen na aplikaci magnetronového naprašování jako alternativní metody pro depozici pasivačních a antireflexních vrstev na křemíkových solárních článcích. Je navržen postup pro předdepoziční čištění povrchů křemíkových substrátů plazmatickým leptáním v prostředí Ar/H2 a reaktivní depozici hydrogenovaných vrstev nitridu křemíku a nitridu hliníku ve směsi plynů Ar/N2/H2. Část práce je věnována popisu experimentálních depozic pseudokarbidových vrstev z křemíkového terče a reaktivního acetylenu (C2H2) v průmyslových podmínkách. Velký důraz je kladen na zkoumání vlastností vrstev a vytvářených poměrů na rozhraní křemík-vrstva za pomoci několika standardních a speciálních měřících metod. Strukturální složení naprašovaných vrstev je analyzováno moderními metodami rentgenové spektroskopie (XPS) a Fourierovské infračervené spektroskopie (FTIR). Pro diagnostiku optických vlastností naprašovaných vrstev v závislosti na vlnových délkách dopadajícího světla jsou vrstvy měřeny pomocí optické elipsometrie a spektrofotometrie. Zkoumání pasivačních účinků naprašovaných vrstev je zajišťováno speciální metodou pro měření plošného rozložení doby života nosičů náboje v objemu a na povrchu křemíkových substrátů (MW-PCD).

BibTex


@phdthesis{BUT67035,
  author="Ondřej {Hégr}",
  title="Charakterizace nanostruktur deponovaných vysokofrekvenčním magnetronovým naprašováním",
  annote="Práce se zabývá analýzou nanostrukturovaných vrstev, deponovaných na povrch
monokrystalického křemíku pomocí vysokofrekvenčního magnetronového naprašování.
Obsah práce je zaměřen na aplikaci magnetronového naprašování jako alternativní
metody pro depozici pasivačních a antireflexních vrstev na křemíkových solárních
článcích. Je navržen postup pro předdepoziční čištění povrchů křemíkových substrátů
plazmatickým leptáním v prostředí Ar/H2 a reaktivní depozici hydrogenovaných vrstev
nitridu křemíku a nitridu hliníku ve směsi plynů Ar/N2/H2. Část práce je věnována
popisu experimentálních depozic pseudokarbidových vrstev z křemíkového terče a
reaktivního acetylenu (C2H2) v průmyslových podmínkách. Velký důraz je kladen na
zkoumání vlastností vrstev a vytvářených poměrů na rozhraní křemík-vrstva za pomoci
několika standardních a speciálních měřících metod. Strukturální složení naprašovaných
vrstev je analyzováno moderními metodami rentgenové spektroskopie (XPS) a
Fourierovské infračervené spektroskopie (FTIR). Pro diagnostiku optických vlastností
naprašovaných vrstev v závislosti na vlnových délkách dopadajícího světla jsou vrstvy
měřeny pomocí optické elipsometrie a spektrofotometrie. Zkoumání pasivačních účinků
naprašovaných vrstev je zajišťováno speciální metodou pro měření plošného rozložení
doby života nosičů náboje v objemu a na povrchu křemíkových substrátů (MW-PCD).",
  chapter="67035",
  year="2008",
  month="december",
  pages="1--110",
  type="dissertation"
}