Product detail

Manipulátor vzorku pro práci ve vakuu

JECH, D. ČELKO, L. PAPULA, M. PÁLENÍČEK, M. ŠTĚPÁNÍK, J. ŘIHÁK, R. MUSÁLEK, T.

Product type

funkční vzorek

Abstract

Funkční vzorek komponenty vakuového manipulátoru pro posuv a rotaci vzorku byl připraven ve spolupráci autorského kolektivu společnosti Activair s.r.o. s výzkumnou institucí Středoevropského technologického institutu VUT v Brně. Výsledek byl realizován za finanční podpory z prostředků státního rozpočtu prostřednictvím Ministerstva průmyslu a obchodu, v rámci řešení projektu MPO TRIO FV10477 pod názvem „Technologie kombinovaného zdroje plasmatu pro vznik pokročilých povrchových úprav“. Vyvinutý manipulátor vzorku pro práci ve vakuu vyniká především svojí robustní konstrukcí, která jednak umožňuje pohybovat vzorky o relativně vysoké hmotnosti a zároveň je manipulátor vysoce odolný extrémním vlivům, které panují uvnitř vakuové komory v průběhu depozice pomocí plasmového hořáku.

Keywords

Manipulátor; vakuum; plasmová depozice;

Create date

8. 5. 2019

Location

laboratoře Activair s.r.o.

Possibilities of use

K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence

Licence fee

Poskytovatel licence na výsledek požaduje licenční poplatek