Product detail

Zdroj atomů Al s radiačním ohřevem

MACH, J.

Product type

funkční vzorek

Abstract

Zařízení je určeno pro depozici ultratenkých Al vrstev v podmínkách UHV. Vypařovaný materiál je umístěn v PBN zásobníku. Výstupní část tohoto zásobníku je během funkce zdroje aktivně ochlazována, což je velmi vhodné pro materiály s vysokou vzlínavostí, jako je například zmíněný hliník. Ohřev zásobníku je realizován průchodem elektrického proudu tantalovým odporovým drátem.

Keywords

Al; efuzní cela; ultratenké vrstvy; UHV; depozice

Create date

19. 4. 2014

Location

ÚFI FSI VUT v Brně, laboratoř 518

Possibilities of use

K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence

Licence fee

Poskytovatel licence na výsledek nepožaduje licenční poplatek

www

http://surfaces.fme.vutbr.cz/laboratories/developed-instruments/2014-01/