Publication detail

Detekce zpětně odražených elektronů v nízkoenergiové oblasti spektra elektronového svazku v SEM.

WANDROL, P.

Original Title

Detekce zpětně odražených elektronů v nízkoenergiové oblasti spektra elektronového svazku v SEM.

English Title

Detection of backscattered electrons in low energy part of the electron beam spectrum in SEM.

Type

conference paper

Language

Czech

Original Abstract

Práce je zaměřena především na výzkum detektoru pro společnou i oddělenou detekci zpětně odražených elektronů (BSE) a sekundární elektronů (SE) v rastrovacím elektronovém mikroskopu za podmínek, kdy energie primárního svazku dopadajícího na vzorek činí 1 keV a méně.

English abstract

This paper deals with the development of the detector for low energy backscattered electrons detection in low voltage scanning electron microscope.

Keywords

zpětně odražené elektrony, nízkonapěťová SEM

Key words in English

backscattered electrons, low voltage SEM

Authors

WANDROL, P.

RIV year

2004

Released

1. 1. 2004

Location

Brno

ISBN

80-239-2268-8

Book

PDS 2003 Sborník prací doktorandů prezentovaných na Semináři oddělení elektronové optiky

Edition number

1

Pages from

61

Pages to

64

Pages count

4

BibTex

@inproceedings{BUT11029,
  author="Petr {Wandrol}",
  title="Detekce zpětně odražených elektronů v nízkoenergiové oblasti spektra elektronového svazku v SEM.",
  booktitle="PDS 2003 Sborník prací doktorandů prezentovaných na Semináři oddělení elektronové optiky",
  year="2004",
  number="1",
  pages="4",
  address="Brno",
  isbn="80-239-2268-8"
}