funkční vzorek

O automatické ovládání depoziřního procesu se stará software vytvořený v programovacím prostředí LabView. Ten ovládá sérii zařízení nutných k přesnému nastavení a ovládání depozice při tvorbě multivrstev. Je řízena skupina deseti napětových a proudových zdrojů, které se starají o ovládání dvou iontových zdrojů. Jedna skupina zdrojů se nachází na plovoucím potenciálu v řádu stovek volků, a proto bylo kvůli jejich ovládání zařízení osazeno sérií napěťových oddělovačů. Dále je řízen průtokoměr, který zajišťuje správné dávkování pracovního plynu do komory iontového zdroje. Je řešeno vyčítání dat z tloušťkoměru, který zaznamenává tloušťku naprašované vrstvy a také dvou tlakoměrů, které vyčítají aktuální tlak v komoře. Zařízení bylo navíc doplněno o dva krokové motory. Ty se starají o ovládání clony substrátu a otáčení terče s nanášeným materiýlem při vytváření multivrstvé struktury. Pro jejich správné nastavení byly zavedeny i dva způsoby vyčítání koncové polohy. První využívá optických závor a druhý měření průtoku napětí při sepnutí v koncové poloze.

Zařízení; iontové naprašování; IBAD; IBS; průtokoměr; napěťový zdroj; proudový zdroje; krokový motor; tloušťkoměr; tlakoměr; LabView

29. 8. 2013

A2/518

K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence

Poskytovatel licence na výsledek požaduje licenční poplatek

http://surfaces.fme.vutbr.cz/laboratories/developed-instruments/2013-05/