Detail publikace

Využití metod nábojového sběru v rastrovacím elektronovém mikroskopu pro diagnostiku poruch v polovodičích

AUTRATA, R., JIRÁK, J., ŠPINKA, J.

Originální název

Využití metod nábojového sběru v rastrovacím elektronovém mikroskopu pro diagnostiku poruch v polovodičích

Typ

článek ve sborníku ve WoS nebo Scopus

Jazyk

čeština

Autoři

AUTRATA, R., JIRÁK, J., ŠPINKA, J.

Rok RIV

1994

Vydáno

1. 1. 1995

Nakladatel

Ústav mikroelektroniky VUT v Brně

Místo

Brno

Strany od

40

Strany do

40

Strany počet

1

BibTex

@inproceedings{BUT1106,
  author="Rudolf {Autrata} and Josef {Jirák} and Jiří {Špinka}",
  title="Využití metod nábojového sběru v rastrovacím elektronovém mikroskopu pro diagnostiku poruch v polovodičích",
  booktitle="Využití metod nábojového sběru v rastrovacím elektronové",
  year="1995",
  pages="1",
  publisher="Ústav mikroelektroniky VUT v Brně",
  address="Brno"
}