funkční vzorek

Zařízení slouží pro měření topografie povrchu s vertikální rozlišitelností v desetinách nm a dynamickým rozsahem do desítek mikrometrů. Sestava se skládá z průmyslového mikroskopu s telecentrickým chodem paprsků a episkopickým osvětlovačem Nikon Eclipse LV150, na který je namontován Miraův interferenční objektiv s piezoelektrickým posuvem. Ten je ovládán řídící jednotkou piezoelektrického posuvu, která je propojena s počítačem. Jako zdroj bílého světla se využívá halogenové žárovky, pro monochromatické měření je doplněn o úzkopásmový filtr. Interferenční obraz je snímám monochromatickou CMOS kamerou a digitálně zpracováván v PC. K ustavení měřeného povrchu do roviny se používá naklápěcího stolku s mikrometrickými šrouby. Celá měřicí sestava je upevněna na stole se vzduchovým tlumením, který redukuje přenos vibrací z okolí.

profilometr, PZT, topografie povrchu, interferometrie

20. 11. 2008

laboratoř č. A2/421 ÚSTAV KONSTRUOVÁNÍ Fakulta strojního inženýrství Vysoké učení technické v Brně Technická 2896/2 616 69 BRNO Česká Republika

Využití výsledku jiným subjektem je možné bez nabytí licence (výsledek není licencován)

Poskytovatel licence na výsledek nepožaduje licenční poplatek

http://dl.uk.fme.vutbr.cz/zobraz_soubor.php?id=1112