Detail produktu

Analýzy povrchů polovodičových materiálů s velkou šířkou zakázaného pásu a kvantitativní analýza dopantů

KOLÍBAL, M. BÁBOR, P. LIGMAJER, F. KOVAŘÍK, M. POTOČEK, M.

Typ produktu

ostatní

Abstrakt

Tato technická zpráva shrnuje metodologii, resp. specifické přístupy k charakterizaci polovodičů s širokým zakázaným pásem, zejména SiC, které byly vyvinuty při řešení projektu TH03020005. U každé uvedené techniky je detailně popsáno použité experimentální vybavení a následně specifika pro měření SiC vzorků a jejich relevantních charakteristik, včetně typizovaného výledku.

Klíčová slova

XPS; SIMS; AFM; spektroskopická elipsometrie

Datum vzniku

7. 1. 2021

Umístění

Purkyňova 123, Brno 61200, budova C, laboratore cistych prostor

Možnosti využití

Výsledek je využíván vlastníkem

Licenční poplatek

Poskytovatel licence na výsledek nepožaduje licenční poplatek

www

http://nano.ceitec.cz/