Detail produktu

Membrány bolometru 2. generace

NEUŽIL, P. SVATOŠ, V. PEKÁREK, J. GABLECH, I.

Typ produktu

funkční vzorek

Abstrakt

Design membrán bolometrů druhé generace byl vytvořen pomocí skriptovacího kódu v NanoLithography Toolbox. Bylo vytvořeno několik velikostí čtvercových membrán, a to s rozměry strany membrány 17.5 µm, 25 µm, 30 µm a 40 µm. Membrány bolometru slouží pro detekci IR záření a jsou vyrobeny na křemíkovém substrátu pomocí CMOS kompatibilních procesů. Nejdůležitější snímací část je tvořena se z membrány (SiO2), uvnitř které je integrován odporový meandr (Ti). Při dopadu IR záření na snímací element dojde k jeho ohřátí, a to vyvolá změnu odporu. Tepelné ztráty do substrátu jsou minimalizovány díky tenkým nohám, na kterých je membrána zavěšena. Pro snížení teplotní časové konstanty τ je zúžena a prodloužena noha vedoucí k membráně bolometru. Byl také přidán výrobní krok pro vytvoření závěsů, které zabraňují podleptání bolometrů do stran.

Klíčová slova

Bolometr, IR záření, NanoLithography toolbox

Datum vzniku

14.12.2016

Umístění

Laboratoř 0.67 UMEL, VUT, Technická 10, Brno

Možnosti využití

K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence

Licenční poplatek

Poskytovatel licence na výsledek požaduje licenční poplatek

www