Detail patentu

Membrána miniaturního bolometru se zvýšenou absorpcí a způsob vytvoření absorpční vrstvy bolometru

NEUŽIL, P. HUBÁLEK, J.

Typ patentu

patent

Abstrakt

Na tepelně izolované membráně (3) miniaturního bolometru se senzorem teploty membrány je vytvořena absorpční vrstva (4) z těsně vedle sebe vertikálně umístěných uhlíkových nanotrubic (7) o výšce vrstvy v rozmezí 1 až 25 .mi.m zvyšující absorpci infračerveného záření v pásmu 8 až 90 (m blízko k 1. Vrstva uhlíkových nanotrubic (7) se vytvoří technikou pyrolytické depozice z plynné fáze. Nejprve se na membráně (3) vytvoří z některého z materiálů ze skupiny kobalt, železo, nikl vrstvička katalyzátoru o tloušťce 1 až 20 nm. Čip (8) s membránou (3) se uzavře do komory (9) opatřené vstupem (11) plynu a výstupem (12) plynu. Komora (9) se naplní inertním plynem a membrána (3) se zahřeje na teplotu mezi 700 a 1100 °C podle typu katalyzátoru a použitého uhlovodíku. K inertnímu plynu se přidá C2H2, CH4, nebo etylen diamin. Na membráně (3) začnou růst vertikálně uspořádané uhlíkové nanotrubice (7). V okamžiku, kdy se dosáhne tloušťky vrstvy tvořící nanotrubice (7) mezi 1 a 25 .mi.m, se uhlovodík vytěsní inertním plynem a vypne se zdroj tepla ohřívající tepelně izolovanou membránu (3).

Klíčová slova

bolometr, membrána, MEMS, IR senzor

Číslo patentu

306065

Datum zápisu

08.06.2016

Vlastník

Vysoké učení technické v Brně

Možnosti využití

K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence

Licenční poplatek

Poskytovatel licence na výsledek požaduje licenční poplatek

www