Detail publikace

Reaktivní magnetronové naprašování vrstev oxidu hlinitého

DUŠEK, J.

Originální název

Reaktivní magnetronové naprašování vrstev oxidu hlinitého

Český název

Reaktivní magnetronové naprašování vrstev oxidu hlinitého

Typ

článek ve sborníku

Jazyk

cs

Originální abstrakt

Článek pojednává o návrhu a experimentálnímu ověření a testování depozičních parametů pro nově instalovaný hliníkový terč. Na základě získaných údajů depozičního procesu a hystereze naprašování bylo ověřeno vytváření vrstev Al2O3. Tento postup umožnil rozpoznání hranic mezi reaktivním a metalickým módem. Navržené hranice vytvořily technologické okno pro naprašování vrstev Al2O3.Vytvořené vrstvy byly testované na mechanické a optické vlastnosti a adhezi.

Český abstrakt

Článek pojednává o návrhu a experimentálnímu ověření a testování depozičních parametů pro nově instalovaný hliníkový terč. Na základě získaných údajů depozičního procesu a hystereze naprašování bylo ověřeno vytváření vrstev Al2O3. Tento postup umožnil rozpoznání hranic mezi reaktivním a metalickým módem. Navržené hranice vytvořily technologické okno pro naprašování vrstev Al2O3.Vytvořené vrstvy byly testované na mechanické a optické vlastnosti a adhezi.

Klíčová slova

reaktivní magnetronové naprašování, pulzní naprašování, vrstvy oxidu hliníku

Vydáno

28.04.2016

Nakladatel

Vysoké učení technické v Brně, Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií

Místo

Brno

ISBN

978-80-214-5350-0

Kniha

Proceedings of the 22nd Conference STUDENT EEICT 2016

Strany od

231

Strany do

233

Strany počet

3

URL

BibTex


@inproceedings{BUT128793,
  author="Jan {Dušek}",
  title="Reaktivní magnetronové naprašování vrstev oxidu hlinitého",
  annote="Článek pojednává o návrhu a experimentálnímu ověření a testování depozičních parametů pro nově instalovaný hliníkový terč. Na základě získaných údajů depozičního procesu a hystereze naprašování bylo ověřeno vytváření vrstev Al2O3. Tento postup umožnil rozpoznání hranic mezi reaktivním a metalickým módem. Navržené hranice vytvořily technologické okno pro naprašování vrstev Al2O3.Vytvořené vrstvy byly testované na mechanické a optické vlastnosti a adhezi.",
  address="Vysoké učení technické v Brně, Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií",
  booktitle="Proceedings of the 22nd Conference STUDENT EEICT 2016",
  chapter="128793",
  howpublished="electronic, physical medium",
  institution="Vysoké učení technické v Brně, Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií",
  year="2016",
  month="april",
  pages="231--233",
  publisher="Vysoké učení technické v Brně, Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií",
  type="conference paper"
}