Detail publikace

Zobrazovací spektroskopický reflektometr založený na membránovém děliči.

VODÁK, J. OHLÍDAL, M.

Originální název

Zobrazovací spektroskopický reflektometr založený na membránovém děliči.

Český název

Zobrazovací spektroskopický reflektometr založený na membránovém děliči.

Typ

článek v časopise - ostatní, Jost

Jazyk

cs

Originální abstrakt

Na ústavu Fyzikálního inženýrství FSI VUT v Brně byla vyvinuta nová varianta zobrazovacího spektroskopického reflektometru pro optickou charakterizaci tenkých vrstev neuniformních v optických parametrech. Přístroj vznikl za účelem rozšíření metody zobrazovací spektroskopické reflektometrie pro vzorky tenkých vrstev s velkými gradienty zmíněných neuniformit. Tohoto cíle bylo dosaženo vyšším obrazovým rozlišením nového přístroje. Při jeho návrhu bylo s výhodou využito membránového děliče, který však omezil spektrální rozsah použitého světla pouze na viditelnou a blízkou infračervenou oblast. Nový přístroj doplňuje již dlouhodobě funkční zobrazovací spektroskopický reflektometr pracující také v ultrafialové spektrální oblasti . Oba přístroje umožňují aplikaci zobrazovací spektroskopické reflektometrie na širokou množinu vzorků neuniformních tenkých vrstev

Český abstrakt

Na ústavu Fyzikálního inženýrství FSI VUT v Brně byla vyvinuta nová varianta zobrazovacího spektroskopického reflektometru pro optickou charakterizaci tenkých vrstev neuniformních v optických parametrech. Přístroj vznikl za účelem rozšíření metody zobrazovací spektroskopické reflektometrie pro vzorky tenkých vrstev s velkými gradienty zmíněných neuniformit. Tohoto cíle bylo dosaženo vyšším obrazovým rozlišením nového přístroje. Při jeho návrhu bylo s výhodou využito membránového děliče, který však omezil spektrální rozsah použitého světla pouze na viditelnou a blízkou infračervenou oblast. Nový přístroj doplňuje již dlouhodobě funkční zobrazovací spektroskopický reflektometr pracující také v ultrafialové spektrální oblasti . Oba přístroje umožňují aplikaci zobrazovací spektroskopické reflektometrie na širokou množinu vzorků neuniformních tenkých vrstev

Klíčová slova

zobrazovací spektroskopická reflektometrie; membránový dělič; rozlišení obrazu

Vydáno

01.07.2016

Nakladatel

Fyzikální ústav Akademie věd České republiky

Strany od

144

Strany do

148

Strany počet

5

BibTex


@article{BUT127118,
  author="Jiří {Vodák} and Miloslav {Ohlídal}",
  title="Zobrazovací spektroskopický reflektometr založený na membránovém děliči.",
  annote="Na ústavu Fyzikálního inženýrství FSI VUT v Brně byla vyvinuta nová varianta zobrazovacího spektroskopického reflektometru pro optickou charakterizaci tenkých vrstev neuniformních v optických parametrech. Přístroj vznikl za účelem rozšíření metody zobrazovací spektroskopické reflektometrie pro vzorky tenkých vrstev s velkými gradienty zmíněných neuniformit. Tohoto cíle bylo dosaženo vyšším obrazovým rozlišením nového přístroje. Při jeho návrhu bylo s výhodou využito membránového děliče, který však omezil spektrální rozsah použitého světla pouze na viditelnou a blízkou infračervenou oblast. Nový přístroj doplňuje již dlouhodobě funkční zobrazovací spektroskopický reflektometr pracující také v ultrafialové spektrální oblasti . Oba přístroje umožňují aplikaci zobrazovací spektroskopické reflektometrie na širokou množinu vzorků neuniformních tenkých vrstev",
  address="Fyzikální ústav Akademie věd České republiky",
  chapter="127118",
  howpublished="print",
  institution="Fyzikální ústav Akademie věd České republiky",
  number="6",
  volume="61",
  year="2016",
  month="july",
  pages="144--148",
  publisher="Fyzikální ústav Akademie věd České republiky",
  type="journal article - other"
}