Detail projektu

Syntéza měřících metod pro dostupnou analýzu zdrojů plazmatu

Období řešení: 01.03.2023 — 28.02.2024

Zdroje financování

Vysoké učení technické v Brně - Vnitřní projekty VUT

- plně financující (2023-01-01 - 2024-12-31)

O projektu

Diagnostikou vysokofrekvenčního zdroje plazmatu pomocí základních elektrotechnických metod bude určeno několik významných kombinací vstupních parametrů (mezi které patří například tlak pracovního plynu nebo dodávaný výkon), pro které bude měření doplněno optickou emisní spektrometrií. Získané výsledky budou vzájemně kombinovány a vyhodnoceny s cílem dosáhnout vyšší úrovně porozumění procesům ve vysokofrekvenčně excitovaném plazmatu.

Označení

FCH/FEKT-J-23-8282

Originální jazyk

čeština

Řešitelé

Útvary

Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií
- příjemce (01.01.2023 - 31.12.2023)
Ústav teoretické a experimentální elektrotechniky
- interní (01.01.2023 - 31.12.2023)
Fakulta chemická
- interní (01.01.2023 - 31.12.2023)
Ústav fyzikální a spotřební chemie
- interní (01.01.2023 - 31.12.2023)