Detail projektu

Iontově svazkové technologie a analáza povrchů a tenkých vrstev

Období řešení: 01.01.1998 — 31.12.1998

Zdroje financování

Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR - Prezentace výsledků výzkumu a vývoje

- plně financující

O projektu

Cílem projektu je prezentace výsledků týmu vedeného dr. Tomášem Šikolou (FS VUT) a skupiny prof. Josefa Humlíčka (PřF MU) ve společně rozvíjené oblasti iontově svazkových technologií a analýzy povrchů a tenkých vrstev na mezinárodní konferen (USA). Prezentace proběhne formou dvou ústních příspěvků, jednoho posteru a předáním rukopisů tří článků. Prezentované výsledky jsou vyústěním výzkumných aktivit obou skupin v rámci mezinárodního projektu COPERNICUS No. CIPA MŠMT na částečné hrazení výdajů spjatých s prezentací tvoří předpokládaný finanční příspěvek české strany k tomuto projektu financovanému EÚ.

Označení

PG98377

Originální jazyk

čeština

Řešitelé

Útvary

Fakulta strojního inženýrství
- příjemce (01.01.1998 - 31.12.1998)

Výsledky

TICHOPÁDEK, P., ŠIKOLA, T., NEBOJSA, A., NAVRÁTIL, K., JURKOVIČ, P., ČECHAL, J. A Study of Thin Oxide Films by Ellipsometry and AR XPS. In 9th European Conference on Applications of Surface and Interface Analysis (ECASIA'01) Book of Abstracts. Avignon, France: P. Marcus, A. Galtayries, N. Frémy, 2001. p. 360 ( p.)
Detail

VOBORNÝ, S.; MACH, J.; ČECHAL, J.; KOSTELNÍK, P.; TOMANEC, O.; BÁBOR, P.; SPOUSTA, J.; ŠIKOLA, T. Application of Complex UHV Apparaturus in a Study of Low-tepmerature Gallium-nitride Ultrathin Film Growth. Jemná mechanika a optika, 2004, vol. 9, no. 9, p. 265 ( p.)ISSN: 0447-6441.
Detail

KALOUSEK, R., ŠIKOLA, T., LOPOUR, F., ŠKODA, D., BUŠ, V. Noncontact Scanning Force Microscopy – a Computer Simulation of Resolution Limits. In 9th European Conference on Applications of Surface and Interface Analysis (ECASIA'01) Book of Abstracts. Avignon, France: P. Marcus, A. Galtayries, N. Frémy, 2001. p. 285 ( p.)
Detail

ŠIKOLA, T. Surfaces and Interfaces - Presence and Perspectives. In Juniormat '01 sborník. Brno: Fakulta strojního inženýrství VUT v Brně, 2001. p. 74 ( p.)
Detail

PRŮŠA, S., ŠIKOLA, T., VOBORNÝ, S., BÁBOR, P. Ion Scattering Spectrosopy - A Tool for Surface Analysis. In Juniormat '01 sborník. Brno: Fakulta strojního inženýrství VUT v Brně, 2001. p. 86 ( p.)
Detail

TICHOPÁDEK, P., NEBOJSA, A., ČECHAL, J. Ellipsometry - a tool for surface and thin film analysis. In Juniormat '01 sborník. Brno: Fakulta strojního inženýrství VUT v Brně, 2001. p. 102 ( p.)
Detail

VOBORNÝ, S., ZLÁMAL, J., BÁBOR, P. Deposition of Ultrathin Films - Optimalisation of Ion Beam Optics. In Juniormat '01 sborník. Brno: Fakulta strojního inženýrství VUT v Brně, 2001. p. 281 ( p.)
Detail

URBÁNEK, M., ZLÁMAL, J. In situ plošné monitorování optických vlastnotí tenkých vrstev připravovaných metodou IBAD. In Juniormat '01 sborník. Brno: Fakulta strojního inženýrství VUT v Brně, 2001. s. 274 ( s.)
Detail

LOPOUR, F., ŠIKOLA, T., SPOUSTA, J., DITTRICHOVÁ, L., BÁBOR, P., DUARTE, J., MATĚJKA, F. Etching of Microstructures and Modification of Solid Surfaces by Low Energy Ion Beams. In MicroMat 2000. Berlin: Editors: B. Michel, T. Winkler, M. Werner,H. Fecht, 2000. p. 919 ( p.)
Detail

ŠIKOLA, T., NEBOJSA, A., SPOUSTA, J., DITTRICHOVÁ, L., LOPOUR, F., ZLÁMAL, J., TICHOPÁDEK, P., KRÁL, J., RAFAJA, D., RANNO, L. Deposition of Thin Films/Multilayers by IBAD. In procedings of conference Metal 2000. Ostrava: VŠB Ostrava, 2000. p. 81 ( p.)
Detail

URBÁNEK, M., ŠIKOLA, T., SPOUSTA, J., CHMELÍK, R., LOPOUR, F., ZLÁMAL, J., JIRUŠE, J. Zařízení k in situ sledování plošné homogenity růstu tenkých neabsorbujících vrstev. In Sborník abstraktů přednášek konference Optické vlastnosti pevných látek v základním výzkum a aplikacích. Brno: MU Brno, 2000. s. 17 ( s.)
Detail

MATĚJKA, F., LOPOUR, F., MATĚJKOVÁ, J. Možnosti testování metriky přístrojů STM a AFM. In 2. seminář o rastrovací tunelovací mikroskopii a příbuzných technikách. Praha: FÚ AVČR, 2000. s. 65 ( s.)
Detail

URBÁNEK, M., ŠIKOLA, T., NEBOJSA, A., SPOUSTA, J., DITTRICHOVÁ, L., CHMELÍK, R., ZLÁMAL, J., JIRUŠE, J. Monitoring of surface homogeneity of optical parameters of thin films. In Micromat 2000. Berlin: Editors: B. Michel, T. Winkler, M. Werner,H. Fecht, 2000. p. 604 ( p.)
Detail

BÁBOR, P. Analýza povrchů a tenkých vrstev metodu SIMS. In Juniormat '01 sborník. Brno: Fakulta strojního inženýrství VUT v Brně, 2001. s. 131 ( s.)
Detail

BÁBOR, P. In-situ monitorování povrchu pevných látek bombardovaných iontovým svazkem – návrh energiového filtru pro aplikaci v SIMS. In II. sborník příspěvků doktorandů, konference u příležitosti 100. výročí založení FSI. Brno: Vutium, 2000. s. 13 ( s.)
Detail

JIRUŠE, J. Analýza struktury povrchů materiálů metodou difrakce pomalých elektronů (LEED). In II. sborník příspěvků doktorandů, konference u příležitosti 100. výročí založení FSI. Brno: Vutium, 2000. s. 121 ( s.)
Detail

PRŮŠA, S. Monitorování povrchů pevných vzorků a ultratenkých vrstev pomocí ToF spektroskopie. In II. sborník příspěvků doktorandů, konference u příležitosti 100. výročí založení FSI. Brno: Vutium, 2000. s. 263 ( s.)
Detail

TICHOPÁDEK, P. In-situ elipsometrie tenkých vrstev a povrchů. In II. sborník příspěvků doktorandů, konference u příležitosti 100. výročí založení FSI. Brno: Vutium, 2000. s. 329 ( s.)
Detail

URBÁNEK, M. Zařízení pro in-situ plošné monitorování homogenity tenkých vrstev. In II. sborník příspěvků doktorandů, konference u příležitosti 100. výročí založení FSI. Brno: Vutium, 2000. s. 333 ( s.)
Detail

VOBORNÝ, S., ZLÁMAL, J. Optimalizace plazmatického iontového zdroje pro přímou depozici tenkých vrstev. In II. sborník příspěvků doktorandů, konference u příležitosti 100. výročí založení FSI. Brno: Vutium, 2000. s. 353 ( s.)
Detail

PRŮŠA, S., ŠIKOLA, T., SPOUSTA, J., VOBORNÝ, S., BÁBOR, P., JURKOVIČ, P., ČECHAL, J. Application of TOF - LEIS and XPS for Surface Studies. In Materials Structure & Micromechanics of Fracture (MSMF-3). Brno: Vutium, 2001. p. 486 ( p.)ISBN: 80-214-1892-3.
Detail

KALOUSEK, R., SCHMID, M. A study of metallic surfaces by UHV STM. In Materials Structure & Micromechanics of Fracture (MSMF-3). Brno: Vutium, 2001. p. 369 ( p.)ISBN: 80-214-1892-3.
Detail

JURKOVIČ, P., ŠIKOLA, T., BÁBOR, P., ČECHAL, J. Studium ultratenkých vrstevnatých struktur. In Sborník příspěvků konference Nové trendy ve fyzice. Brno: FEI VUT v Brně, 2001. s. 364 ( s.)ISBN: 80-214-1992-X.
Detail

KALOUSEK, R., ŠIKOLA, T., BUŠ, V., ŠKODA, D. Noncontact Scanning Force Microscopy - Principles and Simulations. In Sborník příspěvků konference Nové trendy ve fyzice. Brno: FEI VUT v Brně, 2001. p. 369 ( p.)ISBN: 80-214-1992-X.
Detail

PÁTÍK, K.; ŠIKOLA, T.; LOPOUR, F. Design of Piezoelectric Manipulators for an Application in SPM instruments. In Sborník příspěvků konference Nové trendy ve fyzice. Brno: FEI VUT v Brně, 2001. p. 400 ( p.)ISBN: 80-214-1992-X.
Detail

PRŮŠA, S., ŠIKOLA, T., BÁBOR, P. Application of ToF - LEIS for Analysis of Surfaces and Ultra Thin Films. In Sborník příspěvků konference Nové trendy ve fyzice. Brno: FEI VUT v Brně, 2001. p. 404 ( p.)ISBN: 80-214-1992-X.
Detail

VOBORNÝ, S., ŠIKOLA, T., PRŮŠA, S., ZLÁMAL, J., BÁBOR, P. Diagnostics and optimization of ion source parameters. In Sborník příspěvků konference Nové trendy ve fyzice. Brno: FEI VUT v Brně, 2001. p. 304 ( p.)ISBN: 80-214-1992-X.
Detail

TICHOPÁDEK, P.; ŠIKOLA, T.; NEBOJSA, A.; ČECHAL, J. Application of Spectroscopic Ellipsometry in Ultrathin Film Analysis. In Sborník příspěvků konference Nové trendy ve fyzice. Brno: FEI VUT v Brně, 2001. p. 415 ( p.)ISBN: 80-214-1992-X.
Detail

LOPOUR, F., ŠIKOLA, T., ŠKODA, D. Fabrication of nanostructures by AFM local Oxidation. In Sborník příspěvků konference Nové trendy ve fyzice. Brno: FEI VUT v Brně, 2001. p. 394 ( p.)ISBN: 80-214-1992-X.
Detail

LOPOUR, F., ŠIKOLA, T., SPOUSTA, J., KALOUSEK, R., MATĚJKA, F., ŠKODA, D. Application of AFM in Microscopy and in Fabrication of Micro/Nanostructures. In 9th European Conference on Applications of Surface and Interface Analysis (ECASIA'01) Book of Abstracts. Avignon, France: P. Marcus, A. Galtayries, N. Frémy, 2001. p. 320 ( p.)
Detail

LENCOVÁ, B., ZLÁMAL, J., URBAN, P. Graphical inputs and outputs for electron optical computations. In Dreiländertagung für elektronenmikroskopie. A conference on Modern Microscopical methods. Innsbruck: Universität Innsbruck, 2001. p. 12 ( p.)
Detail

LENCOVÁ, B. Recent development in methods for electron optical computations. In Microscopy 2001. Barcelona: University of Barcelona, 2001. p. 29 ( p.)
Detail

KOLÍBAL, M., PRŮŠA, S., BÁBOR, P., BARTOŠÍK, M., TOMANEC, O., ŠIKOLA, T. Growth of gallium on sillicon: A TOF-LEIS and AFM study. In New Trend in Physics. Brno: VUT v Brně, 2004. p. 230 ( p.)ISBN: 80-7355-024-5.
Detail

VOBORNÝ, S., MACH, J., KOLÍBAL, M., ČECHAL, J., BÁBOR, P., POTOČEK, M., ŠIKOLA, T. A study of Early Periods of GaN Ultrathin Film Growth. In New Trends in Pysics. Brno: VUT v Brně, 2004. p. 270 ( p.)ISBN: 80-7355-024-5.
Detail

TICHOPÁDEK, P., NEBOJSA, A., ČECHAL, J. Konstrukce elipsometru pro měření tenkých vrstev a povrchů. Jemná mechanika a optika, 2001, roč. 46, č. 4, s. 136 ( s.)ISSN: 0447-6441.
Detail

URBÁNEK, M., SPOUSTA, J., ŠIKOLA, T., ZLÁMAL, J., CHMELÍK, R., HARNA, Z., JIRUŠE, J., JÁKL, M. In situ plošné monitorování optických parametrů tenkých vrstev. Jemná mechanika a optika, 2001, roč. 46, č. 4, s. 143 ( s.)ISSN: 0447-6441.
Detail

MATĚJKA, F., LOPOUR, F., MATĚJKOVÁ, J. Možnosti testování metriky přístrojů STM a AFM. Československý časopis pro fyziku, 2001, roč. 51, č. 1, s. 38 ( s.)ISSN: 0009-0700.
Detail

KALOUSEK, R., DUB, P., ŠIKOLA, T., LOPOUR, F. Vibrational Analysis of the Cantilever in noncontact Scanning Force Microscopy. Surface and Interface Analysis, 2000, vol. 30, no. 1, p. 292 ( p.)ISSN: 0142-2421.
Detail

ROUČKA, R., JIRUŠE, J., ŠIKOLA, T. Spot intensity processing in LEED images. Vacuum, 2002, vol. 65, no. 2, p. 121 ( p.)ISSN: 0042-207X.
Detail

KOLÍBAL, M.; PRŮŠA, S.; BÁBOR, P.; ŠIKOLA, T. ToF-LEIS Analysis of ultra thin films: Ga and Ga-N layer growth on Si(111). Surface Science, 2004, vol. 566-568, no. 9, p. 885 ( p.)ISSN: 0039-6028.
Detail

VOBORNÝ, S.; KOLÍBAL, M.; MACH, J.; ČECHAL, J.; BÁBOR, P.; PRŮŠA, S.; SPOUSTA, J.; ŠIKOLA, T. Deposition and in-situ charakterization of ultra-thin films. Thin Solid Films, 2004, vol. 459, no. 1-2, p. 17 ( p.)ISSN: 0040-6090.
Detail

ČECHAL, J.; TICHOPÁDEK, P.; NEBOJSA, A.; BONAVENTUROVÁ, O.; URBÁNEK, M.; SPOUSTA, J.; NAVRÁTIL, K.; ŠIKOLA, T. In situ analysis of PMPSi by spectroscopic ellipsometry and XPS. Surface and Interface Analysis, 2004, vol. 38, no. 8, p. 1218 ( p.)ISSN: 0142-2421.
Detail

BRANDEJSOVÁ, E.; ČECHAL, J.; BONAVENTUROVÁ, O.; NEBOJSA, A.; TICHOPÁDEK, P.; URBÁNEK, M.; NAVRÁTIL, K.; ŠIKOLA, T.; HUMLÍČEK, J. In situ analysis of PMPSi thin films by spectroscopic ellipsometry. Jemná mechanika a optika, 2004, vol. 9, no. 9, p. 260 ( p.)ISSN: 0447-6441.
Detail

KOLÍBAL, M.; PRŮŠA, S.; BÁBOR, P.; ŠIKOLA, T. Low energy ion scattering as a method for surface structure analysis. Jemná mechanika a optika, 2004, vol. 9, no. 9, p. 262 ( p.)ISSN: 0447-6441.
Detail

SPOUSTA, J., URBÁNEK, M., ŠIKOLA, T., NEBOJSA, A., CHMELÍK, R., ZLÁMAL, J., JIRUŠE, J. In situ measurements of surface homogeneity of optical parameters of weakly absorbing thin films. In 9th European Conference on Applications of Surface and Interface Analysis (ECASIA'01) Book of Abstracts. Avignon, France: P. Marcus, A. Galtayries, N. Frémy, 2001. p. 295 ( p.)
Detail