diplomová práce

Depozice Al a AlN ultratenkých vrstev na křemíkový a grafenový substrát

Text práce 7.86 MB

Autor práce: Ing. Radek Řihák

Ak. rok: 2015/2016

Vedoucí: Ing. Jindřich Mach, Ph.D.

Oponent: prof. RNDr. Vladimír Čech, Ph.D.

Abstrakt:

Tato diplomová práce se zabývá přípravou a analýzou ultratenkých vrstev hliníku a nitridu hliníku. Vrstvy byly připraveny depozicí z efuzních cel navržených v rámci předchozí bakalářské práce autora. Jejich konstrukce a testování je v práci rovněž zahrnuta. Experimentálně byly zkoumány vlastnosti hliníkových vrstev na nativním oxidu křemíku, křemíku a grafenu. Rovněž je zde popsána příprava nitridu hliníku pomocí dusíkového iontového zdroje.

Klíčová slova:

Hliník, nitrid hliníku, efuzní cela, ultratenké vrstvy, MBE, UHV

Termín obhajoby

20.6.2016

Výsledek obhajoby

obhájeno (práce byla úspěšně obhájena)

znakmkaBznamka

Klasifikace

B

Jazyk práce

čeština

Fakulta

Ústav

Studijní program

Aplikované vědy v inženýrství (M2A-P)

Studijní obor

Fyzikální inženýrství a nanotechnologie (M-FIN)

Složení komise

prof. RNDr. Tomáš Šikola, CSc. (předseda)
prof. RNDr. Miroslav Liška, DrSc. (místopředseda)
prof. RNDr. Bohumila Lencová, CSc. (člen)
prof. RNDr. Jiří Komrska, CSc. (člen)
prof. RNDr. Petr Dub, CSc. (člen)
prof. RNDr. Radim Chmelík, Ph.D. (člen)
prof. RNDr. Jiří Spousta, Ph.D. (člen)
prof. Ing. Ivan Křupka, Ph.D. (člen)
prof. RNDr. Pavel Zemánek, Ph.D. (člen)
RNDr. Antonín Fejfar, CSc. (člen)
prof. RNDr. Eduard Schmidt, CSc. (člen)

Posudek vedoucího
Ing. Jindřich Mach, Ph.D.

Student se v rámci diplomové práce aktivně podílel na realizaci experimentů směřujících k růstu Al a AlN nanostruktur na substrát SiO2 Si3N4. V rámci diplomové práce byly optimalizovány dva typy efuzních cel pro Al, u kterých bylo provedeno testování a kalibrace. Následně byla užitím metod XPS, AFM a SEM studována interakce Al s čistým SiO2 a s SiO2 pokrytým grafenem. Navíc byly připraveny ultratenké vrstvy AlN. Práce studenta byla intenzivní a snaživá. Proto lze konstatovat, že student splnil všechny úkoly zadání. Projevoval nadměrný zájem o danou problematiku, nicméně pří závěrečném zpracování výsledků si počínal mírně těžkopádně.
Kritérium hodnocení Známka
Splnění požadavků a cílů zadání A
Postup a rozsah řešení, adekvátnost použitých metod A
Vlastní přínos a originalita C
Schopnost interpretovat dosažené vysledky a vyvozovat z nich závěry C
Využitelnost výsledků v praxi nebo teorii A
Logické uspořádání práce a formální náležitosti B
Grafická, stylistická úprava a pravopis C
Práce s literaturou včetně citací B
Samostatnost studenta při zpracování tématu B

Známka navržená vedoucím: B

Diplomová práce je zaměřena na velmi aktuální problematiku přípravy a následné charakterizace ultratenkých vrstev nitridu hliníku AlN. Studovaný materiál je zajímavý už pro jeho možnou grafitickou strukturu nabízející výrazně odlišně vlastnosti od jeho typické hexagonální krystalické struktury. Tyto nanostruktury jsou potenciálně velmi významné pro polovodičový průmysl. Práce navazuje na systematickou studii přípravy nanostruktur a grafenu řešenou na Ústavu fyzikálního inženýrství (ÚFI). Mohu konstatovat, že byly zvoleny správné postupy a metody, které vedly k novým a cenným výsledkům, které není jednoduché interpretovat. Především bych zdůraznil rozsáhlou a trpělivou práci studenta v oblasti experimentální, včetně přípravy, testování a kalibrace efuzních cel. Práce je přehledná, dobře graficky zpracovaná a bez vážnějších formálních chyb. Práce obsahuje menší množství překlepů.
Kritérium hodnocení Známka
Splnění požadavků a cílů zadání A
Postup a rozsah řešení, adekvátnost použitých metod A
Vlastní přínos a originalita A
Schopnost interpretovat dosaž. vysledky a vyvozovat z nich závěry B
Využitelnost výsledků v praxi nebo teorii A
Logické uspořádání práce a formální náležitosti A
Grafická, stylistická úprava a pravopis B
Práce s literaturou včetně citací A

Známka navržená oponentem: A