diplomová práce
Depozice Al a AlN ultratenkých vrstev na křemíkový a grafenový substrát
Text práce 7.86 MBAutor práce: Ing. Radek Řihák
Ak. rok: 2015/2016
Vedoucí: Ing. Jindřich Mach, Ph.D.
Oponent: prof. RNDr. Vladimír Čech, Ph.D.
Abstrakt:Tato diplomová práce se zabývá přípravou a analýzou ultratenkých vrstev hliníku a nitridu hliníku. Vrstvy byly připraveny depozicí z efuzních cel navržených v rámci předchozí bakalářské práce autora. Jejich konstrukce a testování je v práci rovněž zahrnuta. Experimentálně byly zkoumány vlastnosti hliníkových vrstev na nativním oxidu křemíku, křemíku a grafenu. Rovněž je zde popsána příprava nitridu hliníku pomocí dusíkového iontového zdroje.
Hliník, nitrid hliníku, efuzní cela, ultratenké vrstvy, MBE, UHV
Termín obhajoby
20.6.2016
Výsledek obhajoby
obhájeno (práce byla úspěšně obhájena)
Klasifikace
B
Jazyk práce
čeština
Fakulta
Ústav
Studijní program
Aplikované vědy v inženýrství (M2A-P)
Studijní obor
Fyzikální inženýrství a nanotechnologie (M-FIN)
Složení komise
prof. RNDr. Tomáš Šikola, CSc. (předseda)
prof. RNDr. Miroslav Liška, DrSc. (místopředseda)
prof. RNDr. Bohumila Lencová, CSc. (člen)
prof. RNDr. Jiří Komrska, CSc. (člen)
prof. RNDr. Petr Dub, CSc. (člen)
prof. RNDr. Radim Chmelík, Ph.D. (člen)
prof. RNDr. Jiří Spousta, Ph.D. (člen)
prof. Ing. Ivan Křupka, Ph.D. (člen)
prof. RNDr. Pavel Zemánek, Ph.D. (člen)
RNDr. Antonín Fejfar, CSc. (člen)
prof. RNDr. Eduard Schmidt, CSc. (člen)
Posudek vedoucího
Ing. Jindřich Mach, Ph.D.
Známka navržená vedoucím: B
Posudek oponenta
prof. RNDr. Vladimír Čech, Ph.D.
Známka navržená oponentem: A