diplomová práce

Aplikace grafénové membrány v nanoelektronických zařízeních

Text práce 8.06 MB

Autor práce: Ing. Lukáš Kormoš

Ak. rok: 2014/2015

Vedoucí: doc. Ing. Miroslav Bartošík, Ph.D.

Oponent: doc. Ing. Jana Drbohlavová, Ph.D.

Abstrakt:

Táto diplomová práca je zameraná na aplikácie a výrobu grafénovej membrány z grafénu vyrobeného pomocov chemickej depozície z plynnej fáze. Teoretická časť sa zaoberá transportnými vlastnosťami grafénu a viacerými rozptylovými procesmi, ktoré obmedzujú pohyblivosť nosičov náboja v tomto materiáli. Súčasťou teoretickej časti je krátka recenzia aplikácií grafénových membrán. Experimentálna časť prezentuje výrobný proces pre dosiahnutie zaveseného grafenového zariadenia s využitím elektrónové litografie, fokusovaného zväzku iónov, chemického leptania a tvarovanie grafenovej vrstvy. Grafénová membrána je charakterizovaná meraním transportných vlastností a tieto sú následne porovnané s grafénom položeným na substráte.

Klíčová slova:

grafén, grafénová membrána, chemická depozícia z plynnej fáze, CVD, elektronová litografia, EBL, transportné vlastnosti

Termín obhajoby

23.6.2015

Výsledek obhajoby

obhájeno (práce byla úspěšně obhájena)

znakmkaAznamka

Klasifikace

A

Jazyk práce

čeština

Fakulta

Ústav

Studijní program

Aplikované vědy v inženýrství (M2A-P)

Studijní obor

Fyzikální inženýrství a nanotechnologie (M-FIN)

Složení komise

prof. RNDr. Tomáš Šikola, CSc. (předseda)
prof. RNDr. Miroslav Liška, DrSc. (místopředseda)
prof. RNDr. Bohumila Lencová, CSc. (člen)
prof. RNDr. Jiří Komrska, CSc. (člen)
prof. RNDr. Petr Dub, CSc. (člen)
prof. RNDr. Radim Chmelík, Ph.D. (člen)
prof. RNDr. Jiří Spousta, Ph.D. (člen)
prof. Ing. Ivan Křupka, Ph.D. (člen)
prof. RNDr. Pavel Zemánek, Ph.D. (člen)
RNDr. Antonín Fejfar, CSc. (člen)

Ve své diplomové práci se Lukáš Kormoš zabýval výrobou a charakterizací transportních vlastností CVD grafénových membrán, což se podařilo úspěšně zvládnout. Oceňuji především, že při výrobě poprvé na ÚFI použil metodu chemického podleptání litograficky již vytvarovaného grafenu, což je postup, který lze výhodně použít pro velké množství elektronických aplikací grafenových membrán. Celý postup výroby je v práci přehledně a podrobně popsán. Rešeršní část se vhodně zaměřuje na rozptylové procesy v grafénu a aplikace grafenových membrán, kde se autor opírá především o původní zdroje. Navzdory tomu, že připravené grafénové membrány zatím nevykázaly výrazně lepší transportní vlastnosti než referenční grafén na povrchu oxidu křemičitého, autor odvedl vynikající práci, jejíž výsledky jsou již dnes přínosné z hlediska aplikací membrán v senzorech, případně rezonátorech. Z odborného hlediska hodnotím práci jako výbornou.
Kritérium hodnocení Známka
Splnění požadavků a cílů zadání A
Postup a rozsah řešení, adekvátnost použitých metod A
Vlastní přínos a originalita A
Schopnost interpretovat dosažené vysledky a vyvozovat z nich závěry A
Využitelnost výsledků v praxi nebo teorii A
Logické uspořádání práce a formální náležitosti A
Grafická, stylistická úprava a pravopis B
Práce s literaturou včetně citací A
Samostatnost studenta při zpracování tématu A

Známka navržená vedoucím: A

Diplomová práce pana Bc. Kormoše obsahuje kvalitně zpracovanou rešerši relevantní k danému tématu, a to zejména o fyzikálních vlastnostech grafenu a grafénové membrány a jejich potenciální využití. Práce je psána srozumitelně, s minimem pravopisných a typografických chyb, úroveň angličtiny je tedy velmi dobrá. Členění textu je logické, jednotlivé kapitoly jsou vhodně provázány odkazy a doplněny referencemi z uznávaných vědeckých časopisů. Velmi kladně hodnotím i grafické zpracování práce.
Experimentální část je věnována problematice výroby zavěšené grafénové membrány v konfiguraci FET. Student detailně popsal možná rizika při výrobě a nastínil optimalizaci jednotlivých kroků, tak aby nedocházelo k poškození membrány.
Celkově hodnotím práci jako vynikající.
Kritérium hodnocení Známka
Splnění požadavků a cílů zadání A
Postup a rozsah řešení, adekvátnost použitých metod A
Vlastní přínos a originalita A
Schopnost interpretovat dosaž. vysledky a vyvozovat z nich závěry A
Využitelnost výsledků v praxi nebo teorii A
Logické uspořádání práce a formální náležitosti A
Grafická, stylistická úprava a pravopis A
Práce s literaturou včetně citací A

Známka navržená oponentem: A