diplomová práce
Návrh a testování vhodné metodiky pro čištění povrchů preparátů in situ pro elektronovou mikroskopii pomalými elektrony
Text práce 5.89 MBAutor práce: Ing. Zdena Rudolfová, Ph.D.
Ak. rok: 2011/2012
Vedoucí: doc. Ing. Miroslav Kolíbal, Ph.D.
Oponent: Ing. Ivo Vávra, CSc.
Abstrakt:Tato práce se zabývá metodikou přípravy polovodičových vzorků pro pozorování dopova-
ných struktur v rastrovacím elektronovém mikroskopu pomalými elektrony. V první části
je podrobně zpracována teorie zobrazování povrchů pomocí elektronového svazku a rozdíly
klasické rastrovací elektronové mikroskopie (SEM) a rastrovací elektronové mikroskopie
pomalými elektrony (LVSEM). Je vysvětlen vznik kontrastu v SEM i LVSEM i teorie
popisující vznik kontrastu různě dopovaných polovodičů. Druhá část obsahuje naměřená
experimentální data. Jsou diskutovány výhody a nedostatky přípravy povrchu štípáním
i fokusovaným iontovým svazkem (FIB), který byl shledán jako nejlepší způsob přípravy
povrchu pro analýzu přesně určeného místa na vzorku. Nutné je použití co nejnižšího
urychlovacího napětí závěrečného leštění FIB, ideálně 1 kV.
kontrast dopantů, štípání, FIB, plasmatické čištění, elektronová mikroskopie pomalými
elektrony
Termín obhajoby
18.6.2012
Výsledek obhajoby
obhájeno (práce byla úspěšně obhájena)
Klasifikace
A
Jazyk práce
čeština
Fakulta
Ústav
Studijní program
Aplikované vědy v inženýrství (M2A-P)
Studijní obor
Fyzikální inženýrství a nanotechnologie (M-FIN)
Složení komise
prof. RNDr. Tomáš Šikola, CSc. (předseda)
prof. RNDr. Miroslav Liška, DrSc. (místopředseda)
prof. RNDr. Bohumila Lencová, CSc. (člen)
prof. RNDr. Jiří Komrska, CSc. (člen)
prof. RNDr. Petr Dub, CSc. (člen)
prof. RNDr. Radim Chmelík, Ph.D. (člen)
prof. RNDr. Jiří Spousta, Ph.D. (člen)
prof. Ing. Ivan Křupka, Ph.D. (člen)
prof. RNDr. Pavel Zemánek, Ph.D. (člen)
RNDr. Antonín Fejfar, CSc. (člen)
Posudek vedoucího
doc. Ing. Miroslav Kolíbal, Ph.D.
Známka navržená vedoucím: A
Posudek oponenta
Ing. Ivo Vávra, CSc.
Známka navržená oponentem: A