diplomová práce

Návrh a testování vhodné metodiky pro čištění povrchů preparátů in situ pro elektronovou mikroskopii pomalými elektrony

Text práce 5.89 MB

Autor práce: Ing. Zdena Rudolfová, Ph.D.

Ak. rok: 2011/2012

Vedoucí: doc. Ing. Miroslav Kolíbal, Ph.D.

Oponent: Ing. Ivo Vávra, CSc.

Abstrakt:

Tato práce se zabývá metodikou přípravy polovodičových vzorků pro pozorování dopova-
ných struktur v rastrovacím elektronovém mikroskopu pomalými elektrony. V první části
je podrobně zpracována teorie zobrazování povrchů pomocí elektronového svazku a rozdíly
klasické rastrovací elektronové mikroskopie (SEM) a rastrovací elektronové mikroskopie
pomalými elektrony (LVSEM). Je vysvětlen vznik kontrastu v SEM i LVSEM i teorie
popisující vznik kontrastu různě dopovaných polovodičů. Druhá část obsahuje naměřená
experimentální data. Jsou diskutovány výhody a nedostatky přípravy povrchu štípáním
i fokusovaným iontovým svazkem (FIB), který byl shledán jako nejlepší způsob přípravy
povrchu pro analýzu přesně určeného místa na vzorku. Nutné je použití co nejnižšího
urychlovacího napětí závěrečného leštění FIB, ideálně 1 kV.

Klíčová slova:

kontrast dopantů, štípání, FIB, plasmatické čištění, elektronová mikroskopie pomalými
elektrony

Termín obhajoby

18.6.2012

Výsledek obhajoby

obhájeno (práce byla úspěšně obhájena)

znakmkaAznamka

Klasifikace

A

Jazyk práce

čeština

Fakulta

Ústav

Studijní program

Aplikované vědy v inženýrství (M2A-P)

Studijní obor

Fyzikální inženýrství a nanotechnologie (M-FIN)

Složení komise

prof. RNDr. Tomáš Šikola, CSc. (předseda)
prof. RNDr. Miroslav Liška, DrSc. (místopředseda)
prof. RNDr. Bohumila Lencová, CSc. (člen)
prof. RNDr. Jiří Komrska, CSc. (člen)
prof. RNDr. Petr Dub, CSc. (člen)
prof. RNDr. Radim Chmelík, Ph.D. (člen)
prof. RNDr. Jiří Spousta, Ph.D. (člen)
prof. Ing. Ivan Křupka, Ph.D. (člen)
prof. RNDr. Pavel Zemánek, Ph.D. (člen)
RNDr. Antonín Fejfar, CSc. (člen)

Zdena Druckmullerová pracovala na tématu vypsaném společně se společností FEI Czech Republic. Experimentální část práce tak byla omezena dostupností používaného mikroskopu v potřebné konfiguraci. Studentka však na zvoleném tématu začala pracovat svědomitě již po návratu se stáže Erasmus, a zejména díky tomuto přístupu se jí podařilo splnit cíle diplomové práce a v několika ohledech je i přesáhnout. Experimenty se štípáním vzorků a následným plasmatickým čištěním byly metodicky a zejména časově poměrně náročné. Při zpracování výsledků studentka prokázala zřejmě vrozené schopnosti pro zpracování obrazu a celou metodiku obohatila o několik originálních přístupů (vyzdvihl bych zejména výpočet hodnoty kontrastu z logaritmické závislosti na míře dopování). Interpretace naměřených dat a vyvozené závěry respektují fakt, že některé experimenty nebylo možné z časových důvodů opakovat. Zde lze studentce vytknout občas nedostatečnou trpělivost a rozvahu při analýze výsledků.
Předložený text je velmi dobře napsán, i přes mé drobné výhrady k uspořádání a obsahu teoretické části. Je nutné vyzdvihnout rešerši současných metod vyhodnocování úrovně dopantů pomocí elektronového mikroskopu, která je zpracována výborně, komplexně a poskytuje tak čtenáři úplný náhled na současný stav poznání v této oblasti. Text prošel minimem korekcí a myslím, že dokazuje velmi dobrou schopnost studentky prezentovat dosažené výsledky.
Kritérium hodnocení Známka
Splnění požadavků a cílů zadání A
Postup a rozsah řešení, adekvátnost použitých metod A
Vlastní přínos a originalita A
Schopnost interpretovat dosažené vysledky a vyvozovat z nich závěry B
Využitelnost výsledků v praxi nebo teorii A
Logické uspořádání práce a formální náležitosti A
Grafická, stylistická úprava a pravopis A
Práce s literaturou včetně citací A
Samostatnost studenta při zpracování tématu A

Známka navržená vedoucím: A

Posudek oponenta
Ing. Ivo Vávra, CSc.

Predložená práca je po formálnej i obsahovej stránke na nadštandardnej úrovni. Výsledky práce sú priamo aplikovateľné v praxi..
Kritérium hodnocení Známka
Splnění požadavků a cílů zadání A
Postup a rozsah řešení, adekvátnost použitých metod A
Vlastní přínos a originalita A
Schopnost interpretovat dosaž. vysledky a vyvozovat z nich závěry A
Využitelnost výsledků v praxi nebo teorii A
Logické uspořádání práce a formální náležitosti A
Grafická, stylistická úprava a pravopis A
Práce s literaturou včetně citací B

Známka navržená oponentem: A