diplomová práce
Automatizace metody měření povrchových struktur reflexním digitálním holografickým mikroskopem.
Text práce 5.07 MBAutor práce: Ing. Daniel Vacula
Ak. rok: 2009/2010
Vedoucí: Ing. Luděk Lovicar, Ph.D.
Oponent: Ing. Mojmír Šerý, Ph.D.
Abstrakt:Reflexní digitální holografický mikroskop vyvinutý na ÚFI FSI VUT v Brně využívá principu mimoosové holografie s časově a prostorově nekoherentním osvětlením. Mikroskop umožňuje rekonstrukci nejen obrazové amplitudy, ale i obrazové fáze. To se děje prakticky v reálném čase. Jediným omezujícím kritériem je rychlost detekce obrazového hologramu a rychlost výpočetní techniky pro jeho zpracování. Díky rekonstrukci obrazové fáze a obrazové amplitudy lze provádět profilometrická měření s vysokým stupněm rozlišení v osovém směru.
Tato diplomová práce se zabývá automatizací měřící metody, která využívá kombinaci fázového a amplitudového zobrazení, při měření vzorků s povrchovou strukturou jejíž výška způsobuje ve fázovém zobrazení neurčitost fáze s celočíselným násobkem 2pí. Součástí této práce je konstrukční návrh osvětlovací soustavy mikroskopu a experimentální ověření funkčnosti zautomatizovaní měřící metody.
Digitální holografická mikroskopie, profilometrie, osvětlovací systém, koherence osvětlení
Termín obhajoby
16.6.2010
Výsledek obhajoby
obhájeno (práce byla úspěšně obhájena)
Klasifikace
B
Jazyk práce
čeština
Fakulta
Ústav
Studijní program
Strojní inženýrství (M5I-P)
Studijní obor
Přesná mechanika a optika (M-PMO-5)
Složení komise
prof. RNDr. Tomáš Šikola, CSc. (předseda)
prof. RNDr. Miroslav Liška, DrSc. (místopředseda)
prof. RNDr. Bohumila Lencová, CSc. (člen)
doc. RNDr. Josef Kuběna, CSc. (člen)
prof. RNDr. Jiří Komrska, CSc. (člen)
prof. RNDr. Pavel Zemánek, Ph.D. (člen)
prof. RNDr. Petr Dub, CSc. (člen)
prof. RNDr. Radim Chmelík, Ph.D. (člen)
prof. Ing. Ivan Křupka, Ph.D. (člen)
prof. RNDr. Jiří Spousta, Ph.D. (člen)
RNDr. Antonín Fejfar, CSc. (člen)
Posudek vedoucího
Ing. Luděk Lovicar, Ph.D.
Známka navržená vedoucím: B
Posudek oponenta
Ing. Mojmír Šerý, Ph.D.
Známka navržená oponentem: B