diplomová práce

Studium chování těžkých kovů v getrujících multivrstvách

Text práce 3.56 MB

Autor práce: Ing. Leoš Gretz

Ak. rok: 2009/2010

Vedoucí: Ing. Petr Bábor, Ph.D.

Oponent: Ing. David Lysáček, Ph.D.

Abstrakt:

Cílem práce je analyzovat chování těžkých kovů v getrujících multivrstvách (tvořených vrstvami polykrystalického křemíku oddělených vrstvami oxidu křemíku) a porovnat ho s getračním chováním ve vrstvách tvořených pouze polykrystalickým křemíkem.

Klíčová slova:

Si deska, kontaminace, SIMS, hloubkové profilování

Termín obhajoby

16.6.2010

Výsledek obhajoby

obhájeno (práce byla úspěšně obhájena)

znakmkaEznamka

Klasifikace

E

Jazyk práce

čeština

Fakulta

Ústav

Studijní program

Aplikované vědy v inženýrství (M2A-P)

Studijní obor

Fyzikální inženýrství a nanotechnologie (M-FIN)

Složení komise

prof. RNDr. Tomáš Šikola, CSc. (předseda)
prof. RNDr. Miroslav Liška, DrSc. (místopředseda)
prof. RNDr. Bohumila Lencová, CSc. (člen)
doc. RNDr. Josef Kuběna, CSc. (člen)
prof. RNDr. Jiří Komrska, CSc. (člen)
prof. RNDr. Pavel Zemánek, Ph.D. (člen)
prof. RNDr. Petr Dub, CSc. (člen)
prof. RNDr. Radim Chmelík, Ph.D. (člen)
prof. Ing. Ivan Křupka, Ph.D. (člen)
prof. RNDr. Jiří Spousta, Ph.D. (člen)
RNDr. Antonín Fejfar, CSc. (člen)

Posudek vedoucího
Ing. Petr Bábor, Ph.D.

Značná část diplomové práce se zabývá teoretickými aspekty getrace kovů a jejich difuze v křemíkových deskách. Dále je popsán princip metody SIMS. V praktické části práce jsou analyzovány a diskutovány hloubkové profily mědi v mulivrstvách polySi/SiOx a ve vrstvách tvořených pouze polySi. Musím konstatovat, že měření hloubkových profilů mohla být provedena pro více variací parametrů žíhání, pak by bylo možné vyvodit relevantnější závěry z měřených dat. Bohužel vzhledem k obtížné komunikaci a nedostatečně aktivnímu přístupu diplomanta se nepodařilo změřit větší množství hloubkových profilů mědi v těchto getrujících vrstvách. I přes tyto výhrady k úplnosti měření doporučuji tuto práci k obhajobě, ale navrhuji ji hodnotit stupněm D.
Kritérium hodnocení Známka
Splnění požadavků a cílů zadání D
Postup a rozsah řešení, adekvátnost použitých metod D
Vlastní přínos a originalita D
Schopnost interpretovat dosažené vysledky a vyvozovat z nich závěry E
Využitelnost výsledků v praxi nebo teorii C
Logické uspořádání práce a formální náležitosti C
Grafická, stylistická úprava a pravopis D
Práce s literaturou včetně citací C
Samostatnost studenta při zpracování tématu E

Známka navržená vedoucím: D

Tématem předložené diplomové práce je studium chování těžkých kovů v getrujících multivrstvách. Práce je rozdělena do čtyř kapitol. V první kapitole jsou popsány základní aspekty negativního vlivu kontaminace těžkými kovy při výrobě polovodičových součástek a principy getrace. Ve druhé kapitole se autor věnuje popisu difuze pomocí Fickových zákonů a difuzi v křemíku. Třetí kapitola je věnována popisu fyzikálním základům metody SIMS. Poslední, čtvrtá, kapitola tvoří praktickou část práce a popisuje provedení a vyhodnocení dvou experimentů.
Teoretická část práce je bez podstatných nedostatků. Oceňuji zejména snahu autora o pochopení principů getrace. Ve třetí kapitole, kde se autor věnuje popisu analytické metody SIMS, bych očekával bližší popis funkce kvadrupólového analyzátoru používaného pro hmotnostní separaci sekundárních iontů. Kvadrupólový hmotnostní analyzátor tvoří nedílnou součást použité aparatury SIMS a popis základních fyzikálních principů funkce analyzátoru v práci chybí.
Praktická část práce je krátká. Z celkového počtu cirka 60-ti stran je vyhodnocení experimentů věnováno pouze 15 stran. V experimentu č. 1 jsou uvedeny výsledky měření hloubkových profilů v multivrstevnatých strukturách. Tyto výsledky jsou samy o sobě velmi cenné. V experimentu č. 2 jsou uvedeny výsledky z měření hloubkových profilů ve vrstvách polykrystalického křemíku. Zde bych ocenil zejména konstrukci žíhací pece, která umožnila homogenní ohřev vzorku v ochranné atmosféře a řízené chladnutí. U obou experimentů bych uvítal obsáhlejší interpretaci výsledků a širší diskusi.
Celkový dojem z práce je rozporuplný. Jsou uvedeny cenné výsledky, které by zcela jistě bylo možné publikovat. Na druhou stranu interpretace výsledků a diskuse neodpovídá kvalitě výsledků samotných a snižují celkovou hodnotu práce. Nabyl jsem dojmu, že práce byla "ušita horkou jehlou" a myslím, že autor nevěnoval dostatek času konzultacím a diskusím nad výsledky. V textu je množství nepřesných vyjádření (viz. připomínky k textu). Z výše uvedených důvodů hodnotím práci stupněm C.
Kritérium hodnocení Známka
Splnění požadavků a cílů zadání B
Postup a rozsah řešení, adekvátnost použitých metod C
Vlastní přínos a originalita D
Schopnost interpretovat dosaž. vysledky a vyvozovat z nich závěry D
Využitelnost výsledků v praxi nebo teorii C
Logické uspořádání práce a formální náležitosti C
Grafická, stylistická úprava a pravopis B
Práce s literaturou včetně citací B

Známka navržená oponentem: C