diplomová práce
Vady seřízení hexapólového korektoru sférické vady, jejich analýza a korekce
Text práce 1.92 MBAutor práce: Ing. Jan Sopoušek
Ak. rok: 2016/2017
Vedoucí: Mgr. Tomáš Radlička, Ph.D.
Oponent: prof. RNDr. Bohumila Lencová, CSc.
Abstrakt:Jednou z možností korekce sférické vady v elektronové mikroskopii je hexapólový korektor. Ačkoliv samotný princip korekce je poměrně dobře v literatuře popsán, jen relativně málo je věnováno samotnému seřízení hexapólového korektoru, jež je stěžejní pro správnou funkčnost.
Práce je věnována analytickému rozboru vad seřízení a jejich vlivu na rozlišení obrazu za použití metody eikonálu a aberačních integrálů. Je ukázáno, že nejdůležitější roli v parazitických aberací hrají výchylky a náklon hexapólů. V závěru je pak popsáno, jakým způsobem je třeba hexapólový korektor seřídit pro odstranění parazitických vad.
Elektronová mikroskopie, Aberace, Hexapólový korektor
Termín obhajoby
21.6.2017
Výsledek obhajoby
obhájeno (práce byla úspěšně obhájena)
Klasifikace
A
Jazyk práce
angličtina
Fakulta
Ústav
Studijní program
Aplikované vědy v inženýrství (M2A-P)
Studijní obor
Fyzikální inženýrství a nanotechnologie (M-FIN)
Složení komise
prof. RNDr. Tomáš Šikola, CSc. (předseda)
prof. RNDr. Miroslav Liška, DrSc. (místopředseda)
prof. RNDr. Bohumila Lencová, CSc. (člen)
prof. RNDr. Jiří Komrska, CSc. (člen)
prof. RNDr. Petr Dub, CSc. (člen)
prof. RNDr. Radim Chmelík, Ph.D. (člen)
prof. RNDr. Jiří Spousta, Ph.D. (člen)
prof. RNDr. Eduard Schmidt, CSc. (člen)
prof. RNDr. Pavel Zemánek, Ph.D. (člen)
RNDr. Antonín Fejfar, CSc. (člen)
Posudek vedoucího
Mgr. Tomáš Radlička, Ph.D.
Známka navržená vedoucím: B
Posudek oponenta
prof. RNDr. Bohumila Lencová, CSc.
Známka navržená oponentem: A