Detail předmětu

Microsensors and Micromechanical Systems

FEKT-CMMSAk. rok: 2017/2018

Základy mikroelektronickýxch technologií pro mikrosenzoriku a mikrosystémy. Úvod do problematiky mikrosenzorů a mikromechanických systémů. Základy mikroelektronických technologií. Základy jevů v polovodičích a jejich využití v senzorice. Odporové senzory. Kapacitní senzory. Hallovy senzory. Piezoelektrické senzory. Senzory s CCD prvky. Generátorové senzory světelného záření. Chemické senzory. Speciální druhy senzorů. Mikromechanické systémy. Nové trendy v mikrosenzorice a v mikromechanických systémech.

Výsledky učení předmětu

Student získá základní teoretické znalosti a praktické dovednosti z oblasti mikromechanických systémů, mikrosenzorů a metod pro měření neelektrických veličin. Dále získá základní znalosti v oblasti návrhu metodiky měření a vyhodnocování výsledků.

Prerekvizity

Jsou požadovány znalosti na úrovni středoškolského studia.

Doporučená nebo povinná literatura

ZEHNULA,K.: Snímače neelektrických veličin, SNTL Praha, 1986

Plánované vzdělávací činnosti a výukové metody

Metody vyučování závisejí na způsobu výuky a jsou popsány článkem 7 Studijního a zkušebního řádu VUT.

Způsob a kritéria hodnocení

Podmínky pro úspěšné ukončení předmětu stanoví každoročně aktualizovaná vyhláška garanta předmětu.

Jazyk výuky

angličtina

Osnovy výuky

1. Úvod do problematiky senzorové techniky
2. Základy mikroelektronických technologií
3. Odporové senzory
4. Kapacitní senzory
5. Indukčnostní senzory
6. Generátorové senzory
7. Polovodičové senzory
8. Optické Senzory
9. Speciální senzory
10. Chemické senzory a biosenzory
11. Mikroelektromechanické systémy

Cíl

Cílem kursu je seznámit posluchače s teorií, principy a konstrukcí mikrosenzorů a mikromechanických systémů. Hlavním úkolem kursu je poskytnutí znalosti pro jejich návrh a optimální využití.

Vymezení kontrolované výuky a způsob jejího provádění a formy nahrazování zameškané výuky

Vymezení kontrolované výuky a způsob jejího provádění stanoví každoročně aktualizovaná vyhláška garanta předmětu.

Zařazení předmětu ve studijních plánech

  • Program EEKR-BC bakalářský

    obor BC-MET , 3. ročník, letní semestr, 5 kreditů, volitelný oborový

Typ (způsob) výuky

 

Přednáška

26 hod., nepovinná

Vyučující / Lektor

Laboratorní cvičení

26 hod., nepovinná

Vyučující / Lektor

eLearning