Detail publikace

Formations of Al2O3/AlN structures by magnetron sputtering

SAFARALIEV, G. BILALOV, B. MAGAMEDOVA, E. SOBOLA, D. GITIKCHIEV, M.

Originální název

Formations of Al2O3/AlN structures by magnetron sputtering

Anglický název

Tvroba Al2O3/AlN struktur magnetronovým naprašováním

Typ

článek v časopise - ostatní, Jost

Jazyk

ruština

Originální abstrakt

The purpose of the work is investigation of basis of low-temperetature synthesis of AlN nanolayers formation by ion-plasma methods.

Anglický abstrakt

The purpose of the work is investigation of basis of low-temperetature synthesis of AlN nanolayers formation by ion-plasma methods.

Klíčová slova

aluminum nitride, substrate, nanolayer, deposition

Klíčová slova v angličtině

aluminum nitride, substrate, nanolayer, deposition

Autoři

SAFARALIEV, G.; BILALOV, B.; MAGAMEDOVA, E.; SOBOLA, D.; GITIKCHIEV, M.

Vydáno

30. 4. 2010

Nakladatel

PI FS 77-39604

Místo

Krasnoyarsk

ISSN

2072-0831

Periodikum

In the World of Scientific Discoveries

Ročník

2010

Číslo

4.5

Stát

Ruská federace

Strany od

23

Strany do

24

Strany počet

2

URL

http://www.nkras.ru

BibTex

@article{BUT76515,
  author="Gadjimet {Safaraliev} and Bilal {Bilalov} and Egana {Magamedova} and Dinara {Sobola} and Magomed {Gitikchiev}",
  title="Formations of Al2O3/AlN structures by magnetron sputtering",
  journal="In the World of Scientific Discoveries",
  year="2010",
  volume="2010",
  number="4.5",
  pages="23--24",
  issn="2072-0831",
  url="http://www.nkras.ru"
}